A vákuumbevonatolási technológia egy olyan technológia, amely vékonyréteg-anyagokat visz fel az aljzatanyagok felületére vákuumkörnyezetben, és amelyet széles körben használnak az elektronikában, az optikában, a csomagolásban, a dekorációban és más területeken. A vákuumbevonó berendezések főként a következő típusokra oszthatók:
1. Termikus párologtatásos bevonóberendezés: ez a leghagyományosabb vákuumos bevonási módszer, amelynek során a vékony filmanyagot a párologtató csónakban melegítik, majd elpárologtatják és az aljzatanyag felületére rakják le.
2. Porlasztásos bevonóberendezés: nagy energiájú ionokat használva a célanyag felületére, a célanyag atomjait porlasztják és lerakják az aljzatanyagra. A magnetronos porlasztás egyenletesebb és erősebb tapadást biztosít a filmen, ami alkalmas tömeggyártásra.
3. Ionsugaras leválasztó berendezés: Az ionsugarakat vékonyréteg-anyagok hordozóra történő leválasztására használják. Ez a módszer nagyon egyenletes filmeket eredményez, és alkalmas nagy pontossági követelményeket támasztó alkalmazásokhoz, de a berendezés költsége magas.
4. Kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) berendezés: Kémiai reakció révén vékony filmeket képez az aljzatanyag felületén. Ez a módszer kiváló minőségű, többféle komponenst tartalmazó filmeket tud előállítani, de a berendezés bonyolult és költséges.
5. Molekulasugaras epitaxia (MBE) berendezés: Ez egy olyan módszer, amely atomi szinten szabályozza a vékonyrétegek növekedését, és főként ultravékony rétegek és többrétegű szerkezetek előállítására használják félvezető és nanotechnológiai alkalmazásokhoz.
6. Plazmaerősítésű kémiai gőzfázisú leválasztási (PECVD) berendezés: Ez egy olyan technika, amely plazmát használ a vékonyrétegek kémiai reakcióval történő lerakódásának fokozására, lehetővé téve a vékonyrétegek gyors képződését alacsonyabb hőmérsékleten.
7. Impulzuslézeres leválasztó (PLD) berendezések: Ezek nagy energiájú lézerimpulzusokat használnak a céltárgy eltalálására, az anyag elpárologtatására a céltárgy felületéről és a hordozóra történő leválasztására, valamint alkalmasak kiváló minőségű, komplex oxidfilmek növesztésére.
Ezen eszközök mindegyikének megvannak a saját jellemzői a tervezés és a működés terén, és különböző ipari alkalmazásokhoz és kutatási területekhez alkalmasak. A technológia fejlődésével a vákuumbevonatolási technológia is fejlődik, és új vákuumbevonó berendezések is megjelennek.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gépgyártó Guangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. június 12.