A CVD bevonatolási technológia a következő tulajdonságokkal rendelkezik:
1. A CVD-berendezések működése viszonylag egyszerű és rugalmas, és képesek előállítani egy- vagy összetett fóliákat, valamint különböző arányú ötvözetfóliákat;
2. A CVD bevonat széles körben alkalmazható, és különféle fém- vagy fémfilm bevonatok előállítására használható;
3. Magas termelési hatékonyság a percenként néhány mikrontól több száz mikronig terjedő lerakódási sebességnek köszönhetően;
4. A PVD módszerrel összehasonlítva a CVD jobb diffrakciós teljesítményt nyújt, és nagyon alkalmas összetett alakú hordozók, például hornyok, bevonatos lyukak és akár zsákfurat-szerkezetek bevonására. A bevonat jó tömörségű filmmé alakítható. A filmképződési folyamat során fellépő magas hőmérsékletnek és a film és a hordozó határfelületén kialakuló erős tapadásnak köszönhetően a filmréteg nagyon szilárd.
5. A sugárzás okozta kár viszonylag alacsony, és integrálható a MOS integrált áramköri eljárásokkal.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua jelentette megvákuumbevonó gép gyártó
Közzététel ideje: 2023. márc. 29.