Pwopriyete mekanik kouch manbràn lan afekte pa adezyon, estrès, dansite agregasyon, elatriye. Apati relasyon ki genyen ant materyèl kouch manbràn lan ak faktè pwosesis yo, nou ka wè ke si nou vle amelyore fòs mekanik kouch manbràn lan, nou ta dwe konsantre sou paramèt pwosesis sa yo:
(1) nivo vakyòm. Enfliyans vakyòm nan sou pèfòmans fim nan trè evidan. Pifò nan endikatè pèfòmans kouch fim nan depann anpil de nivo vakyòm nan. Anjeneral, lè degre vakyòm nan ogmante, dansite agregasyon fim nan ogmante, fèmte a ogmante, estrikti fim nan amelyore, konpozisyon chimik la vin pi, men an menm tan estrès la ogmante tou.
(2) To depozisyon. Amelyore to depozisyon an pa sèlman kapab itilize pou amelyore to evaporasyon an, sa vle di, ogmante tanperati sous evaporasyon an, men li kapab itilize tou pou ogmante sifas sous evaporasyon an, men itilizasyon sous evaporasyon an gen dezavantaj li yo: estrès kouch manbràn lan twò gwo; gaz ki fòme fim nan fasil pou dekonpoze. Kidonk pafwa ogmante sifas sous evaporasyon an pi favorab pase amelyore tanperati sous evaporasyon an.
(3) tanperati substrat la. Ogmante tanperati substrat la fezab pou adsorption molekil gaz ki rete yo sou sifas substrat la, sa ogmante substrat la ak fòs lyezon ant molekil depoze yo: an menm tan, sa ap ankouraje konvèsyon adsorption fizik an adsorption chimik, amelyore entèraksyon ant molekil yo, pou estrikti kouch manbràn lan vin sere. Pa egzanp, si ou chofe Mg, manbràn lan, substrat la a 250 ~ 300 ℃ ka diminye estrès entèn la, amelyore dansite agregasyon an, epi ogmante dite kouch manbràn lan: chofe substrat la a 120 ~ 150 ℃ pou prepare Zr03-Si02, yon manbràn miltikouch, fòs mekanik li ogmante anpil, men tanperati substrat la twò wo ap lakòz kouch manbràn lan deteryore.
(4) Bonbadman iyon. Bonbadman iyon an gen yon efè sou fòmasyon sifas ki gen anpil koezyon, sou aspè britalite sifas la, sou oksidasyon ak sou dansite agregasyon. Bonbadman anvan kouch la ka netwaye sifas la epi ogmante adezyon an; bonbadman apre kouch la ka amelyore dansite agregasyon kouch fim nan, elatriye, kidonk ogmante rezistans mekanik ak dite a.
(5) Netwayaj substrat la. Si metòd netwayaj substrat la pa apwopriye oubyen li pa pwòp, enpurte ki rete oubyen ajan netwayaj la ka lakòz nouvo polisyon, kondisyon koyezyon ak adezyon kouch la diferan, sa ki afekte pwopriyete estriktirèl ak epesè optik premye kouch la, men tou, li fasil pou kouch fim nan detache de substrat la, kidonk li chanje karakteristik kouch fim nan.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 4 me 2024