1. Teknoloji depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon karakterize pa yon adezyon fò ant manbràn lan ak substra a, sa ki fè kouch manbràn lan trè solid. Eksperyans yo montre ke: adezyon depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ogmante plizyè fwa rive plizyè santèn fwa pi vit pase adezyon depozisyon vapè tèmik, sitou akòz efè netwayaj bonbadman iyon an sou sifas la, sa ki fè koòdone baz manbràn lan fòme yon estrikti entèfasyal gradyan, oswa yon kouch tranzisyon ibrid, epi tou diminye estrès manbràn lan.
2. Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka amelyore pwopriyete mekanik fim nan, pwolonje lavi fatig, trè apwopriye pou preparasyon oksid, kabid, BN kib, TiB2, ak kouch ki sanble ak dyaman. Pa egzanp, nan asye rezistan chalè 1Cr18Ni9Ti, lè yo itilize teknoloji depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon pou fè yon fim Si3N4 200nm grandi, sa pa sèlman anpeche aparisyon fant fatig sou sifas materyèl la, men tou, li diminye anpil vitès difizyon fant fatig la, sa ki jwe yon bon wòl nan pwolonje lavi li.
3. Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka chanje nati estrès fim nan epi chanje estrikti kristalin li. Pa egzanp, lè yo prepare yon fim Cr ak yon bonbadman 11.5keV Xe+ oubyen Ar+ sou sifas substra a, yo te jwenn ke ajisteman tanperati substra a, enèji iyon bonbadman an, iyon yo ak atòm yo pou rive nan rapò paramèt yo, ka fè estrès la soti nan estrès tansyon rive nan estrès konpresyon, sa ki pral pwodui chanjman tou nan estrikti kristalin fim nan. Anba yon sèten rapò arive iyon-atòm, depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon an gen yon pi bon oryantasyon selektif pase kouch manbràn ki depoze pa depozisyon vapè tèmik.
4. Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka amelyore rezistans korozyon ak rezistans oksidasyon manbràn lan. Akòz dansite depo kouch fim nan ak asistans gwo bout bwa iyon, estrikti entèfas baz fim nan amelyore oubyen fòmasyon yon eta amorf akòz disparisyon limit grenn ant patikil yo, sa ki fezab pou amelyorasyon rezistans korozyon materyèl la epi reziste oksidasyon nan tanperati ki wo.
5. Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka chanje pwopriyete elektwomayetik fim nan epi amelyore pèfòmans fim optik mens yo.
6. Depozisyon ak asistans iyon pèmèt ajisteman presi ak endepandan paramèt ki gen rapò ak depozisyon atomik ak enplantasyon iyon, epi li pèmèt jenerasyon siksesif kouch kèk mikwomèt ak konpozisyon konsistan nan enèji bonbadman ki ba, pou divès fim mens ka grandi nan tanperati chanm, evite efè negatif sou materyèl oswa pyès presizyon ki ka koze pa tretman yo nan tanperati ki wo.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 24 janvye 2024