Teknoloji kouch CVD a gen karakteristik sa yo:
1. Pwosesis operasyon ekipman CVD a relativman senp epi fleksib, epi li ka prepare fim endividyèl oswa konpoze ak fim alyaj ak diferan pwopòsyon;
2. Kouch CVD gen yon pakèt aplikasyon, epi li ka itilize pou prepare divès kalite metal oswa kouch fim metal;
3. Segondè efikasite pwodiksyon akòz to depo ki varye ant kèk mikron ak plizyè santèn mikron pa minit;
4. Konpare ak metòd PVD a, CVD a gen pi bon pèfòmans difraksyon epi li trè apwopriye pou kouvri substrats ki gen fòm konplèks, tankou rainur, twou kouvri, e menm estrikti twou avèg. Kouch la ka plake nan yon fim ki gen bon konpak. Akòz tanperati ki wo pandan pwosesis fòmasyon fim nan, ak adezyon fò sou koòdone substrats fim nan, kouch fim nan trè fèm.
5. Domaj ki koze pa radyasyon an relativman ba epi li ka entegre ak pwosesis sikwi entegre MOS yo.
—— Atik sa a pibliye pa Guangdong Zhenhua, yonmanifakti machin kouch vakyòm
Dat piblikasyon: 29 mas 2023