Na mehanička svojstva membranskog sloja utječu adhezija, naprezanje, gustoća agregacije itd. Iz odnosa između materijala membranskog sloja i procesnih čimbenika može se vidjeti da ako želimo poboljšati mehaničku čvrstoću membranskog sloja, trebamo se usredotočiti na sljedeće procesne parametre:
(1) razina vakuuma. Utjecaj vakuuma na performanse filma je vrlo očit. Većina pokazatelja performansi sloja filma uvelike ovisi o razini vakuuma. Obično se, kako se stupanj vakuuma povećava, povećava gustoća agregacije filma, povećava čvrstoća, poboljšava struktura filma, kemijski sastav postaje čistiji, ali istovremeno se povećava i naprezanje.
(2) Brzina taloženja. Poboljšanje brzine taloženja ne samo da može poboljšati brzinu isparavanja, odnosno povećati temperaturu izvora isparavanja, već se može koristiti i za povećanje površine izvora isparavanja. Međutim, korištenje izvora isparavanja za povećanje temperature ima svoje nedostatke: naprezanje membranskog sloja može biti preveliko; plin koji stvara film lako se razgrađuje. Stoga je ponekad povoljnije povećati površinu izvora isparavanja nego poboljšati temperaturu izvora isparavanja.
(3) temperatura podloge. Povećanje temperature podloge pogoduje adsorpciji preostalih molekula plina na površini podloge, čime se povećava sila vezanja između deponiranih molekula na podlozi: istovremeno se potiče pretvorba fizičke adsorpcije u kemijsku adsorpciju, poboljšava interakcija između molekula i stvara čvrstoća membranskog sloja. Na primjer, zagrijavanje Mg membrane podloge na 250 ~ 300 ℃ može smanjiti unutarnje naprezanje, poboljšati gustoću agregacije i povećati tvrdoću membranskog sloja: zagrijavanje podloge na 120 ~ 150 ℃ pripremljene višeslojne ZrO3-SiO2 membrane znatno povećava mehaničku čvrstoću, ali previsoka temperatura podloge uzrokovat će propadanje membranskog sloja.
(4) Ionsko bombardiranje. Ionsko bombardiranje utječe na stvaranje visoko kohezivnih površina, hrapavost površine, oksidaciju i gustoću agregacije. Bombardiranje prije nanošenja premaza može očistiti površinu i povećati prianjanje; bombardiranje nakon nanošenja premaza može poboljšati gustoću agregacije sloja filma itd., čime se povećava mehanička čvrstoća i tvrdoća.
(5) Čišćenje podloge. Ako metoda čišćenja podloge nije prikladna ili nije čista, u podlozi ostaju nečistoće ili sredstvo za čišćenje, što uzrokuje novo onečišćenje. U premazu se mijenjaju uvjeti kohezije i prianjanja, što utječe na strukturna svojstva i optičku debljinu prvog sloja, ali i na lako odvajanje filma od podloge, što mijenja karakteristike filma.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 04.05.2024.