1. Tehnologija taloženja uz pomoć ionskog snopa karakterizira se jakom adhezijom između membrane i podloge, pri čemu je membranski sloj vrlo jak. Eksperimenti pokazuju da: taloženje uz pomoć ionskog snopa ima nekoliko puta, pa čak i stotinama puta veću adheziju od termičke taloženja parom, a razlog tome je uglavnom bombardiranje ionima na površini zbog učinka čišćenja, tako da baza membrane formira gradijentnu strukturu na granici faza ili hibridni prijelazni sloj, te smanjuje naprezanje membrane.
2. Taloženje uz pomoć ionskog snopa može poboljšati mehanička svojstva filma, produžiti vijek trajanja od zamora, vrlo je pogodno za pripremu oksida, karbida, kubnog BN, TiB2 i dijamantnih prevlaka. Na primjer, kod toplinski otpornog čelika 1Cr18Ni9Ti, korištenje tehnologije taloženja uz pomoć ionskog snopa za uzgoj filma Si3N4 debljine 200 nm ne samo da može spriječiti pojavu pukotina od zamora na površini materijala, već i značajno smanjiti brzinu širenja pukotina od zamora, što ima važnu ulogu u produljenju njegovog vijeka trajanja.
3. Taloženje uz pomoć ionskog snopa može promijeniti prirodu naprezanja filma i promijeniti njegovu kristalnu strukturu. Na primjer, priprema Cr filma bombardiranjem površine podloge Xe+ ili Ar+ od 11,5 keV, pokazala je da podešavanje temperature podloge, energije bombardiranja ionima, ionima i atomima kako bi se postigao omjer parametara, može promijeniti naprezanje od vlačnog do tlačnog naprezanja, što će također uzrokovati promjene u kristalnoj strukturi filma. Pod određenim omjerom dolaska iona i atoma, taloženje uz pomoć ionskog snopa ima bolju selektivnu orijentaciju od membranskog sloja taloženog termičkim taloženjem iz pare.
4. Taloženje uz pomoć ionskog snopa može poboljšati otpornost membrane na koroziju i oksidaciju. Zbog gustoće sloja filma taloženja uz pomoć ionskog snopa, poboljšava se struktura površine baze filma ili se stvara amorfno stanje uzrokovano nestankom granica zrna između čestica, što pogoduje povećanju otpornosti materijala na koroziju i otpornosti na oksidaciju na visokim temperaturama.
5. Taloženje uz pomoć ionskog snopa može promijeniti elektromagnetska svojstva filma i poboljšati performanse tankih optičkih filmova.
6. Ionsko potpomognuto taloženje omogućuje precizno i neovisno podešavanje parametara povezanih s atomskim taloženjem i ionskom implantacijom te omogućuje uzastopno stvaranje premaza od nekoliko mikrometara s konzistentnim sastavom pri niskim energijama bombardiranja, tako da se različiti tanki filmovi mogu uzgajati na sobnoj temperaturi, izbjegavajući štetne učinke na materijale ili precizne dijelove koji mogu biti uzrokovani njihovom obradom na povišenim temperaturama.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 24. siječnja 2024.