CVD tehnologija premazivanja ima sljedeće karakteristike:
1. Proces rada CVD opreme je relativno jednostavan i fleksibilan, te može pripremiti pojedinačne ili kompozitne filmove i legirane filmove s različitim omjerima;
2. CVD premaz ima širok raspon primjena i može se koristiti za pripremu različitih metalnih ili metalnih filmskih premaza;
3. Visoka učinkovitost proizvodnje zbog brzina nanošenja u rasponu od nekoliko mikrona do stotina mikrona u minuti;
4. U usporedbi s PVD metodom, CVD ima bolje difrakcijske performanse i vrlo je prikladan za premazivanje podloga složenih oblika, kao što su žljebovi, premazane rupe, pa čak i strukture slijepih rupa. Premaz se može nanijeti u film s dobrom kompaktnošću. Zbog visoke temperature tijekom procesa formiranja filma i jakog prianjanja na granici filma i podloge, sloj filma je vrlo čvrst.
5. Šteta uzrokovana zračenjem je relativno niska i može se integrirati s MOS integriranim krugovima.
——Ovaj članak objavljuje Guangdong Zhenhua,proizvođač strojeva za vakuumsko premazivanje
Vrijeme objave: 29. ožujka 2023.