1. आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव तकनीक की विशेषता झिल्ली और सब्सट्रेट के बीच मजबूत आसंजन है, झिल्ली परत बहुत मजबूत है। प्रयोगों से पता चलता है कि: आयन बीम-सहायता प्राप्त जमाव का आसंजन थर्मल वाष्प जमाव के आसंजन की तुलना में कई गुना बढ़कर सैकड़ों गुना हो जाता है, इसका कारण मुख्य रूप से सफाई प्रभाव की सतह पर आयन बमबारी के कारण होता है, ताकि झिल्ली आधार इंटरफ़ेस एक ढाल इंटरफेसियल संरचना, या हाइब्रिड संक्रमण परत बनाने के लिए, साथ ही झिल्ली तनाव को कम करने के लिए।
2. आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव फिल्म के यांत्रिक गुणों में सुधार कर सकता है, थकान जीवन का विस्तार कर सकता है, ऑक्साइड, कार्बाइड, क्यूबिक बीएन, टीआईबी 2 और हीरे जैसी कोटिंग्स की तैयारी के लिए बहुत उपयुक्त है। उदाहरण के लिए, 1Cr18Ni9Ti गर्मी प्रतिरोधी स्टील में आयन-बीम-सहायता प्राप्त जमाव तकनीक के उपयोग से 200nm Si3N4 फिल्म विकसित होती है, जो न केवल सामग्री की सतह पर थकान दरारों के उद्भव को रोक सकती है, बल्कि थकान दरार प्रसार की दर को भी काफी कम कर सकती है, इसके जीवन का विस्तार करने में एक अच्छी भूमिका है।
3. आयन बीम सहायता प्राप्त निक्षेपण फिल्म के तनाव की प्रकृति को बदल सकता है और इसकी क्रिस्टलीय संरचना में परिवर्तन कर सकता है। उदाहरण के लिए, सब्सट्रेट सतह पर 11.5keV Xe + या Ar + बमबारी के साथ Cr फिल्म की तैयारी, पाया गया कि सब्सट्रेट तापमान, बमबारी आयन ऊर्जा, आयनों और परमाणुओं के समायोजन से मापदंडों के अनुपात तक पहुँचने के लिए, तनाव को तन्य तनाव से संपीड़ित तनाव में बदला जा सकता है, फिल्म की क्रिस्टलीय संरचना में भी परिवर्तन होगा। एक निश्चित आयन-से-परमाणु आगमन अनुपात के तहत, आयन बीम सहायता प्राप्त निक्षेपण में थर्मल वाष्प जमाव द्वारा जमा की गई झिल्ली परत की तुलना में बेहतर चयनात्मक अभिविन्यास होता है।
4. आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव झिल्ली के संक्षारण प्रतिरोध और ऑक्सीकरण प्रतिरोध को बढ़ा सकता है। फिल्म परत के आयन बीम-सहायता प्राप्त जमाव के घनत्व के कारण, फिल्म बेस इंटरफेस संरचना में सुधार या कणों के बीच अनाज की सीमाओं के गायब होने के कारण अनाकार स्थिति का गठन, जो सामग्री के संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाने और उच्च तापमान के ऑक्सीकरण का विरोध करने के लिए अनुकूल है।
5. आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव फिल्म के विद्युत चुम्बकीय गुणों को बदल सकता है और ऑप्टिकल पतली फिल्मों के प्रदर्शन में सुधार कर सकता है।
6. आयन-सहायता प्राप्त निक्षेपण, परमाणु निक्षेपण और आयन आरोपण से संबंधित मापदंडों के सटीक और स्वतंत्र समायोजन की अनुमति देता है, और कम बमबारी ऊर्जा पर एकसमान संरचना के साथ कुछ माइक्रोमीटर के कोटिंग्स के क्रमिक उत्पादन की अनुमति देता है, ताकि विभिन्न पतली फिल्मों को कमरे के तापमान पर विकसित किया जा सके, जिससे सामग्री या सटीक भागों पर प्रतिकूल प्रभाव से बचा जा सके जो उन्हें उच्च तापमान पर उपचारित करने के कारण हो सकते हैं।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: जनवरी-24-2024