1. આયન બીમ સહાયિત ડિપોઝિશન ટેકનોલોજી પટલ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે મજબૂત સંલગ્નતા દ્વારા વર્ગીકૃત થયેલ છે, પટલ સ્તર ખૂબ જ મજબૂત છે. પ્રયોગો દર્શાવે છે કે: થર્મલ વરાળ નિક્ષેપના સંલગ્નતા કરતાં આયન બીમ-સહાયિત સંલગ્નતાનું નિક્ષેપ અનેક ગણું વધીને સેંકડો ગણું થયું છે, તેનું કારણ મુખ્યત્વે સફાઈ અસરની સપાટી પર આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટને કારણે છે, જેથી પટલનો આધાર ઇન્ટરફેસ ગ્રેડિયન્ટ ઇન્ટરફેસિયલ માળખું, અથવા હાઇબ્રિડ ટ્રાન્ઝિશન સ્તર બનાવે છે, તેમજ પટલના તણાવને ઘટાડે છે.
2. આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન ફિલ્મના યાંત્રિક ગુણધર્મોને સુધારી શકે છે, થાકનું જીવન વધારી શકે છે, જે ઓક્સાઇડ, કાર્બાઇડ, ક્યુબિક BN, TiB2 અને હીરા જેવા કોટિંગ્સની તૈયારી માટે ખૂબ જ યોગ્ય છે. ઉદાહરણ તરીકે, 1Cr18Ni9Ti ગરમી-પ્રતિરોધક સ્ટીલમાં 200nm Si3N4 ફિલ્મ ઉગાડવા માટે આયન-બીમ-આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ કરીને, તે સામગ્રીની સપાટી પર થાક તિરાડોના ઉદભવને અટકાવી શકે છે, પરંતુ થાક તિરાડના પ્રસારના દરને પણ નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડી શકે છે, તેના જીવનને વધારવામાં સારી ભૂમિકા ભજવે છે.
3. આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપ ફિલ્મના તાણ સ્વભાવને બદલી શકે છે અને તેની સ્ફટિકીય રચનામાં ફેરફાર કરી શકે છે. ઉદાહરણ તરીકે, 11.5keV Xe + અથવા સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર Ar + બોમ્બાર્ડમેન્ટ સાથે Cr ફિલ્મની તૈયારી, જાણવા મળ્યું કે સબસ્ટ્રેટ તાપમાન, બોમ્બાર્ડમેન્ટ આયન ઊર્જા, આયનો અને પરમાણુઓનું પરિમાણોના ગુણોત્તર સુધી પહોંચવા માટે ગોઠવણ, તાણ તાણથી સંકુચિત તાણ સુધી તણાવ બનાવી શકે છે, ફિલ્મની સ્ફટિકીય રચના પણ ફેરફારો ઉત્પન્ન કરશે. ચોક્કસ આયન-થી-અણુ આગમન ગુણોત્તર હેઠળ, આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપ થર્મલ વરાળ નિક્ષેપ દ્વારા જમા કરાયેલ પટલ સ્તર કરતાં વધુ સારી પસંદગીયુક્ત દિશા ધરાવે છે.
4. આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપન પટલના કાટ પ્રતિકાર અને ઓક્સિડેશન પ્રતિકારને વધારી શકે છે. ફિલ્મ સ્તરના આયન બીમ-સહાયિત નિક્ષેપનની ઘનતાને કારણે, ફિલ્મ બેઝ ઇન્ટરફેસ માળખામાં સુધારો અથવા કણો વચ્ચેના અનાજની સીમાઓ અદ્રશ્ય થવાને કારણે આકારહીન સ્થિતિની રચના, જે સામગ્રીના કાટ પ્રતિકારને વધારવા અને ઉચ્ચ તાપમાનના ઓક્સિડેશનનો પ્રતિકાર કરવા માટે અનુકૂળ છે.
5. આયન બીમ સહાયિત ડિપોઝિશન ફિલ્મના ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ગુણધર્મોને બદલી શકે છે અને ઓપ્ટિકલ પાતળા ફિલ્મોના પ્રદર્શનમાં સુધારો કરી શકે છે.
6. આયન-સહાયિત નિક્ષેપન અણુ નિક્ષેપન અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન સંબંધિત પરિમાણોના ચોક્કસ અને સ્વતંત્ર ગોઠવણને મંજૂરી આપે છે, અને ઓછી બોમ્બાર્ડમેન્ટ ઉર્જા પર સુસંગત રચના સાથે થોડા માઇક્રોમીટરના કોટિંગના ક્રમિક ઉત્પાદનને મંજૂરી આપે છે, જેથી ઓરડાના તાપમાને વિવિધ પાતળા ફિલ્મ ઉગાડી શકાય, જે ઉચ્ચ તાપમાને તેમની સારવાર કરવાથી થતી સામગ્રી અથવા ચોકસાઇવાળા ભાગો પર થતી પ્રતિકૂળ અસરોને ટાળે છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: જાન્યુઆરી-24-2024