A obtención de baleiro tamén se coñece como "bombeo de baleiro", que se refire ao uso de diferentes bombas de baleiro para eliminar o aire do interior do recipiente, de xeito que a presión dentro do espazo caia por debaixo dunha atmosfera. Na actualidade, para obter o baleiro, utilízanse dispositivos comúns como bombas de baleiro mecánicas de paletas rotativas, bombas Roots, bombas de difusión de aceite, bombas moleculares compostas, bombas de adsorción de peneira molecular, bombas de sublimación de titanio, bombas de ións de pulverización catódica e bombas crioxénicas, etc. Nestas bombas, as catro primeiras bombas clasifícanse como bombas de transferencia de gas (bombas de baleiro de transferencia), o que significa que as moléculas de gas son aspiradas continuamente pola bomba de baleiro e descargadas ao ambiente externo para realizar a evacuación; as catro últimas bombas clasifícanse como bombas de captura de gas (bombas de baleiro de captura), que están condensadas molecularmente ou unidas quimicamente na parede interior da cámara de bombeo para obter o baleiro requirido. As bombas de captura de gas tamén se denominan bombas de baleiro sen aceite porque non usan aceite como medio de traballo. A diferenza das bombas de transferencia, que eliminan permanentemente o gas, algunhas bombas de captura son reversibles, o que permite que o gas recollido ou condensado se descargue de volta ao sistema durante o proceso de quecemento.
As bombas de baleiro de transferencia divídense en dúas categorías principais: volumétricas e de transferencia de momento. As bombas de transferencia volumétrica adoitan incluír bombas mecánicas de paletas rotatorias, bombas de anel líquido, bombas alternativas e bombas Roots; as bombas de baleiro de transferencia de momento adoitan incluír bombas moleculares, bombas de chorro e bombas de difusión de aceite. As bombas de baleiro de captura adoitan incluír bombas de adsorción de baixa temperatura e bombas de pulverización catódica.
En xeral, o proceso de revestimento é diferente, o baleiro da cámara de revestimento ao baleiro debe alcanzar diferentes niveis e, na tecnoloxía de baleiro, o seu nivel baséase máis no baleiro de fondo (tamén coñecido como baleiro intrínseco). O baleiro de fondo refírese ao baleiro da cámara de revestimento ao baleiro a través da bomba de baleiro para satisfacer as necesidades do proceso de revestimento do baleiro máis alto, e o tamaño deste baleiro depende principalmente da capacidade de bombeo de baleiro. O baleiro da sala de revestimento ao baleiro, mediante o seu sistema de baleiro, pode alcanzar o baleiro máis alto, o que se denomina baleiro límite (ou presión límite). A táboa 1-2 enumera o rango de presión de traballo dalgunhas bombas de baleiro comúns e a presión máxima que se pode obter. As partes sombreadas da táboa representan as presións que se poden obter con cada bomba de baleiro cando se usa en combinación con outros equipos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 30 de agosto de 2024