’S e teicneòlas còmhdach falamh teicneòlas a bhios a’ cur stuthan film tana air uachdar stuthan fo-strat fo àrainneachd falamh, a thathas a’ cleachdadh gu farsaing ann an eileagtronaig, optaig, pacadh, sgeadachadh agus raointean eile. Faodar uidheamachd còmhdach falamh a roinn sa mhòr-chuid anns na seòrsaichean a leanas:
1. Uidheam còmhdach le falmhachadh teirmeach: is e seo an dòigh còmhdach falmhachaidh as traidiseanta, le bhith a’ teasachadh an stuth film tana anns a’ bhàta falmhachaidh, thèid an stuth a ghalachadh agus a thasgadh air uachdar an stuth fo-strat.
2. Uidheam còmhdach spùtadh: le bhith a’ cleachdadh ianan àrd-lùtha gus bualadh air uachdar an stuth targaid, bidh ataman an stuth targaid air an spùtadh agus air an tasgadh air an stuth fo-strat. Tha spùtadh magnetron comasach air greamachadh nas èideadh agus nas làidire fhaighinn air an fhilm, freagarrach airson cinneasachadh mòr.
3. Uidheam tasgadh gathan ian: Bithear a’ cleachdadh gathan ian gus stuthan film tana a thasgadh air an t-substrate. Faodaidh an dòigh seo filmichean glè èideadh fhaighinn agus tha e freagarrach airson amannan le riatanasan mionaideachd àrd, ach tha cosgais an uidheamachd àrd.
4. Uidheam Tasgadh Ceò Ceimigeach (CVD): A’ cruthachadh fhilmichean tana air uachdar an stuth-substrate tro ath-bhualadh ceimigeach. Faodaidh an dòigh seo filmichean àrd-inbhe, ioma-ghnèitheach ullachadh, ach tha an uidheamachd iom-fhillte agus cosgail.
5. Uidheam Eipitaxaidh Beam Molecular (MBE): Is e seo dòigh air fàs fhilmichean tana a smachdachadh aig an ìre atamach agus tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson ullachadh sreathan tana agus structaran ioma-fhilleadh airson tagraidhean leth-chonnsachaidh agus nanoteicneòlais.
6. Uidheam Tasgadh Ceimigeach Ceimigeach Leasaichte le Plasma (PECVD): Is e seo dòigh-obrach a bhios a’ cleachdadh plasma gus tasgadh fhilmichean tana a neartachadh le ath-bhualadh ceimigeach, a’ leigeil le cruthachadh luath fhilmichean tana aig teòthachdan nas ìsle.
7. Innealan Tasgadh Leusair Pulsach (PLD): Bidh iad sin a’ cleachdadh cuislean leusair àrd-lùtha gus targaid a bhualadh, stuth a ghalachadh bhon uachdar targaid agus a thasgadh air fo-strat, agus tha iad freagarrach airson filmichean ogsaid iom-fhillte àrd-inbhe fhàs.
Tha feartan dealbhaidh is obrachaidh sònraichte aig gach aon de na h-innealan seo agus tha iad freagarrach airson diofar thagraidhean gnìomhachais agus raointean rannsachaidh. Le leasachadh teicneòlais, tha teicneòlas còmhdach falamh a’ dol air adhart cuideachd, agus tha uidheamachd còmhdach falamh ùr a’ tighinn am bàrr cuideachd.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leinneal còmhdach falamhneach-dèanamh Guangdong Zhenhua
Àm puist: Ògmhios-12-2024