Tha buaidh aig greamachadh, cuideam, dùmhlachd cruinneachaidh, msaa, air feartan meacanaigeach sreath an membran. Bhon dàimh eadar stuth sreath an membran agus factaran a’ phròiseis, chithear ma tha sinn airson neart meacanaigeach sreath an membran a leasachadh, gum bu chòir dhuinn fòcas a chuir air na paramadairean pròiseis a leanas:
(1) ìre falamh. Tha buaidh falamh air coileanadh an fhilm gu math follaiseach. Tha a’ mhòr-chuid de na comharran coileanaidh den shreath film an urra ris an ìre falamh. Mar as trice, mar a bhios an ìre falamh ag àrdachadh, bidh dùmhlachd cruinneachaidh an fhilm ag àrdachadh, bidh an daingneachd ag àrdachadh, bidh structar an fhilm a’ leasachadh, bidh an co-dhèanamh ceimigeach a’ fàs glan, ach aig an aon àm bidh an cuideam ag àrdachadh cuideachd.
(2) Ìre tasgaidh. Chan e a-mhàin gun gabh an ìre tasgaidh a leasachadh gus an ìre falmhachaidh a leasachadh, is e sin, teòthachd an stòr falmhachaidh àrdachadh, ach faodar a chleachdadh cuideachd gus farsaingeachd an stòr falmhachaidh a mheudachadh, ach tha eas-bhuannachdan ann a bhith a’ cleachdadh stòr falmhachaidh gus teòthachd an dòigh-obrach àrdachadh: bidh cuideam sreath an membran ro mhòr; tha gas cruthachadh film furasta a lobhadh. Mar sin uaireannan tha e nas fheàrr farsaingeachd an stòr falmhachaidh a mheudachadh na teòthachd an stòr falmhachaidh a leasachadh.
(3) teòthachd an t-substrate. Bidh àrdachadh teòthachd an t-substrate a’ cuideachadh le bhith a’ cur às do na moileciuilean gas a tha air fhàgail air uachdar an t-substrate, a’ meudachadh an fheachd ceangail eadar na moileciuilean a tha air an tasgadh san t-substrate: aig an aon àm, brosnaichidh e tionndadh an adsorption corporra gu adsorption ceimigeach, a’ neartachadh an eadar-obrachadh eadar na moileciuilean, gus am bi structar sreath an membran teann. Mar eisimpleir, faodaidh teasachadh Mg, membran, an t-substrate gu 250 ~ 300 ℃ an cuideam a-staigh a lughdachadh, dùmhlachd cruinneachaidh a leasachadh, agus cruas sreath an membran àrdachadh: nuair a thèid an t-substrate a theasachadh gu 120 ~ 150 ℃, bidh neart meacanaigeach membran ioma-fhilleadh Zr03-Si02 air a dhèanamh suas gu mòr, ach ma tha teòthachd an t-substrate ro àrd, bidh an sreath membran a’ crìonadh.
(4) Bombardement ian. Tha buaidh aig bomardement ian air cruthachadh uachdaran àrd-aonaichte, garbh-chruth uachdar, oxidation agus dùmhlachd cruinneachaidh. Faodaidh am bomardement ron chòmhdach an uachdar a ghlanadh agus an greamachadh a mheudachadh; faodaidh am bomardement às dèidh còmhdach dùmhlachd cruinneachaidh sreath film a leasachadh, msaa., agus mar sin an neart meacanaigeach agus an cruas a mheudachadh.
(5) Glanadh an t-substrate. Mura h-eil an dòigh-obrach glanaidh substrate iomchaidh no chan eil i glan, agus ma tha neo-chunbhalachdan no stuth-glanaidh air fhàgail san t-substrate, bidh truailleadh ùr ann. Bidh diofar shuidheachaidhean co-leanailteachd agus greamachaidh anns a’ chòmhdach, a’ toirt buaidh air feartan structarail agus tighead optigeach a’ chiad shreath, agus a’ dèanamh an t-sreath film furasta a thoirt dheth bhon t-substrate, agus mar sin ag atharrachadh feartan sreath an fhilm.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 4 Cèitean 2024