Is teicneolaíocht í an teicneolaíocht sciath folúis a thaisceann ábhair scannáin tanaí ar dhromchla ábhar foshraithe faoi thimpeallacht folúis, a úsáidtear go forleathan i leictreonaic, optaic, pacáistiú, maisiú agus réimsí eile. Is féidir trealamh sciath folúis a roinnt go príomha sna cineálacha seo a leanas:
1. Trealamh sciath galúcháin theirmigh: is é seo an modh sciath folúis is traidisiúnta, tríd an ábhar scannáin tanaí a théamh sa bhád galúcháin, déantar an t-ábhar a ghalú agus a thaisceadh ar dhromchla ábhar an tsubstráit.
2. Trealamh sciath spútarála: ag baint úsáide as iain ardfhuinnimh chun bualadh le dromchla an ábhair sprice, déantar na hadaimh ábhair sprice a spútaráil agus a thaisceadh ar an ábhar foshraithe. Is féidir le spútaráil maighnéadrón greamaitheacht níos aonfhoirmí agus níos láidre a fháil ar an scannán, atá oiriúnach le haghaidh olltáirgeadh.
3. Trealamh taiscthe bhíoma ian: Úsáidtear bhíomaí ian chun ábhair scannáin tanaí a thaisceadh ar an tsubstráit. Is féidir scannáin an-aonfhoirmeacha a fháil leis an modh seo agus tá sé oiriúnach d'ócáidí a bhfuil riachtanais ardchruinnis ag teastáil uathu, ach tá costas an trealaimh ard.
4. Trealamh um Thaisceadh Gaile Ceimiceach (CVD): Cruthaíonn sé scannáin thanaí ar dhromchla an ábhair foshraithe trí imoibriú ceimiceach. Is féidir scannáin ilspeiceas ardchaighdeáin a ullmhú leis an modh seo, ach tá an trealamh casta agus costasach.
5. Trealamh Eipeatacsais Bhíoma Móilíneach (MBE): Is modh é seo chun fás scannán tanaí a rialú ag an leibhéal adamhach agus úsáidtear é go príomha chun sraitheanna ultra-tanaí agus struchtúir ilchisealacha a ullmhú le haghaidh feidhmeanna leathsheoltóra agus nanateicneolaíochta.
6. Trealamh Taisceadh Ceimiceach Gaile Feabhsaithe le Plasma (PECVD): Is teicníc í seo a úsáideann plasma chun taisceadh scannán tanaí a fheabhsú trí imoibriú ceimiceach, rud a chuireann ar chumas scannán tanaí a fhoirmiú go tapa ag teochtaí níos ísle.
7. Gléasanna Taiscthe Léasair Bhuilgeacha (PLD): Úsáideann siad seo bíoga léasair ardfhuinnimh chun sprioc a bhualadh, ábhar a ghalú ó dhromchla na sprice agus é a thaisceadh ar foshraith, agus tá siad oiriúnach chun scannáin ocsaíde casta ardchaighdeáin a fhás.
Tá a shaintréithe féin ag gach ceann de na gléasanna seo i ndearadh agus i bhfeidhmiú agus tá siad oiriúnach d'fheidhmchláir thionsclaíocha agus do réimsí taighde éagsúla. Le forbairt na teicneolaíochta, tá dul chun cinn á dhéanamh ar theicneolaíocht sciath folúis freisin, agus tá trealamh sciath folúis nua ag teacht chun cinn freisin.
–Tá an t-alt seo eisithe agmeaisín sciath folúismonaróir Guangdong Zhenhua
Am an phoist: 12 Meitheamh 2024