Bealaí Próisis chun Neart Meicniúil an tSraith Scannán a Fheabhsú

Bíonn tionchar ag an ngreamaitheacht, an strus, an dlús comhiomlánaithe, etc. ar airíonna meicniúla an chiseal membrane. Ón ngaol idir ábhar an chiseal membrane agus fachtóirí próisis, is léir gur cheart dúinn díriú ar na paraiméadair phróisis seo a leanas más mian linn neart meicniúil an chiseal membrane a fheabhsú:

(1) leibhéal folúis. Is léir go bhfuil tionchar ag folús ar fheidhmíocht an scannáin. Braitheann formhór na dtáscairí feidhmíochta den chiseal scannáin go mór ar an leibhéal folúis. De ghnáth, de réir mar a mhéadaíonn an leibhéal folúis, méadaíonn dlús comhiomlánaithe an scannáin, méadaíonn an daingne, feabhsaítear struchtúr an scannáin, éiríonn an comhdhéanamh ceimiceach níos íon, ach ag an am céanna méadaíonn an strus freisin.

(2) Ráta taiscthe. Ní hamháin gur féidir an ráta galúcháin a fheabhsú trí fheabhsú a dhéanamh ar an ráta taiscthe, is é sin, teocht an fhoinse galúcháin a mhéadú, ach is féidir leis achar an fhoinse galúcháin a mhéadú freisin, ach tá míbhuntáistí ag baint le teocht an fhoinse galúcháin a mhéadú: bíonn an strus ar an tsraith membrane ró-mhór; is furasta an gás scannán-fhoirmithe a dhíghrádú. Mar sin, uaireanta is fearr achar an fhoinse galúcháin a mhéadú ná teocht an fhoinse galúcháin a fheabhsú.

(3) teocht an tsubstráit. Cuidíonn méadú ar theocht an tsubstráit le móilíní gáis atá fágtha a eisiamh ar dhromchla an tsubstráit, rud a mhéadaíonn an fórsa ceangailteach idir na móilíní taiscthe agus an tsubstráit: ag an am céanna cuirfidh sé seo le comhshó an adsú fisiciúil go adsú ceimiceach, agus feabhsóidh sé an t-idirghníomhú idir na móilíní, rud a fhágann go bhfuil struchtúr an chiseal membrane daingean. Mar shampla, is féidir le téamh Mg an tsubstráit go 250 ~ 300 ℃ an strus inmheánach a laghdú, dlús an chomhiomlánaithe a fheabhsú, agus cruas an chiseal membrane a mhéadú: má théitear an tsubstráit go 120 ~ 150 ℃, méadaítear neart meicniúil membrane ilchiseal Zr03-Si02, a bhfuil ullmhaithe go mór leis, ach má ardaíonn teocht an tsubstráit an iomarca, meathlóidh an ciseal membrane.

(4) Buamáil ian. Bíonn tionchar ag buamáil ian ar fhoirmiú dromchlaí an-chomhtháite, ar gharbhacht an dromchla, ar ocsaídiú agus ar dhlús comhiomlánaithe. Is féidir leis an mbuamáil roimh an sciath an dromchla a ghlanadh agus an greamaitheacht a mhéadú; is féidir leis an mbuamáil tar éis sciath dlús comhiomlánaithe an tsraith scannáin a fheabhsú, etc., rud a mhéadaíonn an neart meicniúil agus an cruas.

(5) Glanadh an tsubstráit. Mura bhfuil an modh glantacháin tsubstráit oiriúnach nó neamhghlan, bíonn eisíontais nó glantóirí fágtha sa tsubstráit, rud a chruthaíonn truailliú nua. Bíonn coinníollacha comhtháthaithe agus greamaitheachta éagsúla sa sciath, rud a théann i bhfeidhm ar airíonna struchtúracha agus ar thiús optúil an chéad chiseal, agus a fhágann go bhfuil sé éasca don chiseal scannáin teacht ón tsubstráit, rud a athraíonn tréithe an chiseal scannáin.

–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua