Teicneolaíocht Taiscthe le Cúnamh Bhíoma Ian

1. Is sainairíonna don teicneolaíocht taiscthe le cúnamh bhíoma ian greamaitheacht láidir idir an scannán agus an tsubstráit, agus tá an ciseal scannáin an-láidir. Léiríonn turgnaimh go: méadaíonn greamaitheacht taiscthe le cúnamh bhíoma ian roinnt uaireanta go céadta uair níos mó ná greamaitheacht taiscthe gaile teirmeach, agus is é an chúis is mó leis seo ná éifeacht ghlantacháin an bhuamáil ian ar dhromchla an taiscthe, rud a chruthaíonn struchtúr comhéadain grádáin, nó ciseal trasdula hibrideach, ar chomhéadan bonn an scannáin, agus laghdaíonn sé strus an scannáin.

2. Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian feabhas a chur ar airíonna meicniúla an scannáin, saolré tuirse a fhadú, agus tá sé an-oiriúnach chun ocsaídí, cairbídí, BN ciúbach, TiB2, agus sciath cosúil le diamant a ullmhú. Mar shampla, i cruach teasdhíonach 1Cr18Ni9Ti, nuair a úsáidtear teicneolaíocht taisceadh le cúnamh bhíoma ian chun scannán Si3N4 200nm a fhás, ní hamháin gur féidir leis scoilteanna tuirse a chosc ar dhromchla an ábhair, ach laghdaíonn sé go suntasach an ráta idirleata scoilteanna tuirse, rud a fhadaíonn a shaolré.

3. Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian nádúr struis an scannáin a athrú agus a struchtúr criostalach a athrú. Mar shampla, nuair a ullmhaíodh scannán Cr le buamáil 11.5keV Xe + nó Ar + ar dhromchla an tsubstráit, fuarthas amach gur féidir le coigeartú teocht an tsubstráit, fuinneamh buamáil na n-ian, na n-ian agus na n-adamh chun cóimheas na bparaiméadar a bhaint amach, an strus a athrú ó strus teanntachta go strus comhbhrúite, agus go dtáirgfear athruithe i struchtúr criostalach an scannáin freisin. Faoi chóimheas teachta ian-go-adamh áirithe, bíonn treoshuíomh roghnach níos fearr ag an taisceadh le cúnamh bhíoma ian ná an ciseal membrane a thaisctear trí thaisceadh teirmeach gaile.

4. Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian friotaíocht creimeadh agus friotaíocht ocsaídiúcháin an scannáin a fheabhsú. Mar gheall ar dhlús an taiscthe le cúnamh bhíoma ian sa chiseal scannáin, feabhsaítear struchtúr comhéadain bhun an scannáin nó foirmítear staid neamhchruthach de bharr imeacht na dteorainneacha gráin idir na cáithníní, rud a chabhróidh le friotaíocht creimeadh an ábhair a fheabhsú agus le friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta a sheasamh.

5. Is féidir le taisceadh le cúnamh bhíoma ian airíonna leictreamaighnéadacha an scannáin a athrú agus feidhmíocht scannán tanaí optúla a fheabhsú.

6. Le taisceadh le cúnamh ian is féidir coigeartú beacht agus neamhspleách a dhéanamh ar na paraiméadair a bhaineann le taisceadh adamhach agus ionchlannú ian, agus is féidir bratuithe de chúpla micriméadar a ghiniúint i ndiaidh a chéile le comhdhéanamh comhsheasmhach ag fuinnimh bhuamála ísle, ionas gur féidir scannáin thanaí éagsúla a fhás ag teocht an tseomra, ag seachaint na n-éifeachtaí díobhálacha ar ábhair nó ar chodanna beachta a d’fhéadfadh a bheith mar thoradh ar iad a chóireáil ag teochtaí arda.

–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua