Tá na tréithe seo a leanas ag teicneolaíocht sciath CVD:
1. Tá oibriú próisis trealaimh CVD sách simplí agus solúbtha, agus is féidir leis scannáin aonair nó ilchodacha agus scannáin chóimhiotail a ullmhú le comhréireanna éagsúla;
2. Tá raon leathan feidhmeanna ag sciath CVD, agus is féidir é a úsáid chun sciatha miotail nó scannáin miotail éagsúla a ullmhú;
3. Éifeachtúlacht ard táirgthe mar gheall ar rátaí taiscthe ó chúpla miocrón go dtí na céadta miocrón in aghaidh an nóiméid;
4. I gcomparáid leis an modh PVD, tá feidhmíocht difreactachta níos fearr ag CVD agus tá sé an-oiriúnach chun foshraitheanna le cruthanna casta a sciathú, amhail claiseanna, poill brataithe, agus fiú struchtúir phoill dall. Is féidir an sciath a phlátáil i scannán le dlúthdhlúthacht mhaith. Mar gheall ar an teocht ard le linn an phróisis foirmithe scannáin, agus an greamaitheacht láidir ar chomhéadan foshraithe an scannáin, tá an ciseal scannáin an-dhaingean.
5. Tá an damáiste de bharr radaíochta sách íseal agus is féidir é a chomhtháthú le próisis chiorcaid chomhtháite MOS.
——Tá an t-alt seo foilsithe ag Guangdong Zhenhua, amonaróir meaisín sciath folúis
Am an phoist: 29 Márta 2023