De meganyske eigenskippen fan 'e membraanlaach wurde beynfloede troch de adhesion, spanning, aggregaasjedichtheid, ensfh. Ut 'e relaasje tusken it membraanlaachmateriaal en prosesfaktoaren kin sjoen wurde dat as wy de meganyske sterkte fan 'e membraanlaach ferbetterje wolle, wy ús moatte rjochtsje op 'e folgjende prosesparameters:
(1) fakuümnivo. De ynfloed fan fakuüm op 'e prestaasjes fan 'e film is tige dúdlik. De measte prestaasje-yndikatoaren fan 'e filmlaach binne tige ôfhinklik fan it fakuümnivo. Gewoanlik, as de fakuümgraad tanimt, nimt de aggregaasjetichtens fan 'e film ta, nimt de stevigens ta, de filmstruktuer ferbetteret, de gemyske gearstalling suverder wurdt, mar tagelyk nimt de spanning ek ta.
(2) Deposysjesnelheid. It ferbetterjen fan 'e deposysjesnelheid kin net allinich brûkt wurde om de ferdampingssnelheid te ferbetterjen, dat is, de temperatuer fan 'e ferdampingsboarne ferheegje, mar it kin ek brûkt wurde om it gebiet fan 'e ferdampingsboarne te fergrutsjen, mar it brûken fan 'e ferdampingsboarne om de temperatuer fan 'e ferdampingsboarne te ferheegjen hat syn neidielen: de spanning op 'e membraanlaach wurdt te grut; filmfoarmjend gas ûntlient maklik. Dêrom is it soms geunstiger om it gebiet fan 'e ferdampingsboarne te fergrutsjen as de temperatuer fan 'e ferdampingsboarne te ferbetterjen.
(3) substraattemperatuer. Ferheging fan 'e substraattemperatuer is geunstich foar adsorpsje op it substraatoerflak fan 'e oerbleaune gasmolekulen om út te sluten, en fergruttet de substraattemperatuer en de biningkrêft tusken de ôfsette molekulen: tagelyk sil de konverzje fan fysike adsorpsje nei gemyske adsorpsje befoarderje, de ynteraksje tusken molekulen ferbetterje, sadat de membraanlaachstruktuer strak is. Bygelyks, Mg, membraan, substraatferwaarming oant 250 ~ 300 ℃ kin de ynterne spanning ferminderje, de aggregaasjetichtens ferbetterje, de hurdens fan 'e membraanlaach ferheegje: substraatferwaarming oant 120 ~ 150 ℃, taret Zr03-Si02, mearlaachmembraan, syn meganyske sterkte nimt flink ta, mar in te hege substraattemperatuer sil de membraanlaach ferswakje.
(4) Ionenbombardemint. Ionenbombardemint hat effekt op 'e foarming fan tige kohesive oerflakken, oerflakrûchheid, oksidaasje en aggregaasjetichtens. It bombardemint foar it coaten kin it oerflak skjinmeitsje en de adhesion ferheegje; it bombardemint nei it coaten kin de aggregaasjetichtens fan 'e filmlaach ferbetterje, ensfh., wêrtroch't de meganyske sterkte en hurdens tanimme.
(5) Substraatreiniging. De metoade foar it reinigjen fan it substraat is net geskikt of net skjin, wêrtroch't ûnreinheden of reinigingsmiddels yn it substraat oerbliuwe, wat nije fersmoarging feroarsaket. De kohesje- en adhesionbetingsten yn 'e coating feroarje, wat de strukturele eigenskippen en optyske dikte fan 'e earste laach beynfloedet, mar ek de filmlaach maklik fan it substraat loslit, wêrtroch't de skaaimerken fan 'e filmlaach feroare wurde.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: maaie-04-2024