Kalvokerroksen mekaanisiin ominaisuuksiin vaikuttavat adheesio, jännitys, aggregaatiotiheys jne. Kalvokerroksen materiaalin ja prosessitekijöiden välisestä suhteesta voidaan nähdä, että jos haluamme parantaa kalvokerroksen mekaanista lujuutta, meidän tulisi keskittyä seuraaviin prosessiparametreihin:
(1) tyhjiötaso. Tyhjiön vaikutus kalvon suorituskykyyn on hyvin ilmeinen. Useimmat kalvokerroksen suorituskykyindikaattorit riippuvat hyvin paljon tyhjiötasosta. Yleensä tyhjiöasteen kasvaessa kalvon aggregaatiotiheys kasvaa, lujuus kasvaa, kalvon rakenne paranee ja kemiallinen koostumus puhdistuu, mutta samalla myös jännitys kasvaa.
(2) Laskeutumisnopeus. Laskeutumisnopeuden parantaminen ei ainoastaan paranna haihtumisnopeutta eli nosta haihtumislähteen lämpötilaa, vaan sitä voidaan käyttää myös haihtumislähteen pinta-alan lisäämiseen. Haihtumislähteen lämpötilan nostamisella on kuitenkin haittapuolensa: se aiheuttaa kalvokerroksen liian suuren jännityksen ja kalvoa muodostava kaasu hajoaa helposti. Siksi joskus on parempi suurentaa haihtumislähteen pinta-alaa kuin parantaa haihtumislähteen lämpötilaa.
(3) Substraatin lämpötila. Substraatin lämpötilan nostaminen edistää jäljellä olevien kaasumolekyylien adsorptiota substraatin pinnalle, mikä poistaa ja lisää substraatin ja kerrostuneiden molekyylien välistä sitoutumisvoimaa. Samalla edistetään fysikaalisen adsorption muuntumista kemialliseksi adsorptioksi ja parannetaan molekyylien välistä vuorovaikutusta, jolloin kalvokerroksen rakenne on tiivis. Esimerkiksi Mg-kalvon lämmittäminen substraatilla 250–300 ℃:seen voi vähentää sisäistä jännitystä, parantaa aggregaatiotiheyttä ja lisätä kalvokerroksen kovuutta. Zr03-Si02-monikerroksisen kalvon mekaaninen lujuus kasvaa huomattavasti, mutta liian korkea substraatin lämpötila aiheuttaa kalvokerroksen heikkenemistä.
(4) Ionipommitus. Ionipommituksella on vaikutusta erittäin koheesiivisten pintojen muodostumiseen, pinnan karheuteen, hapettumiseen ja aggregaatiotiheyteen. Pinnoitusta edeltävä pommitus voi puhdistaa pinnan ja lisätä tarttuvuutta; pinnoituksen jälkeinen pommitus voi parantaa kalvokerroksen aggregaatiotiheyttä jne., mikä lisää mekaanista lujuutta ja kovuutta.
(5) Alustan puhdistus. Jos alustan puhdistusmenetelmä ei ole sopiva tai se ei ole puhdas, alustaan jää epäpuhtauksia tai puhdistusainetta, jotka aiheuttavat uutta saastumista. Pinnoitteen koheesio- ja tarttuvuusolosuhteet vaihtelevat, mikä vaikuttaa ensimmäisen kerroksen rakenteellisiin ominaisuuksiin ja optiseen paksuuteen. Tämä myös helpottaa kalvokerroksen irtoamista alustasta, mikä muuttaa kalvokerroksen ominaisuuksia.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 04.05.2024