CVD-pinnoitustekniikalla on seuraavat ominaisuudet:
1. CVD-laitteiden prosessitoiminta on suhteellisen yksinkertaista ja joustavaa, ja sillä voidaan valmistaa yksittäisiä tai komposiittikalvoja ja seoskalvoja eri mittasuhteilla;
2. CVD-pinnoitteella on laaja valikoima sovelluksia, ja sitä voidaan käyttää erilaisten metalli- tai metallikalvopinnoitteiden valmistukseen;
3. Korkea tuotantotehokkuus johtuen laskeutumisnopeuksista, jotka vaihtelevat muutamasta mikronista satoihin mikroneihin minuutissa;
4. CVD-menetelmällä on PVD-menetelmään verrattuna parempi diffraktiokyky ja se soveltuu erittäin hyvin monimutkaisten muotojen, kuten urien, pinnoitettujen reikien ja jopa umpireikärakenteiden, pinnoittamiseen. Pinnoite voidaan levittää kalvoksi, jolla on hyvä tiivistys. Kalvonmuodostusprosessin korkean lämpötilan ja kalvon ja alustan rajapinnan vahvan tarttuvuuden ansiosta kalvokerros on erittäin luja.
5. Säteilyn aiheuttamat vahingot ovat suhteellisen vähäisiä ja ne voidaan integroida MOS-integroitujen piirien prosesseihin.
——Tämän artikkelin on julkaissut Guangdong Zhenhua, atyhjiöpinnoituskoneiden valmistaja
Julkaisun aika: 29.3.2023