Hutsean estaltzeko teknologia substratu materialen gainazalean film meheko materialak hutsean jartzen dituen teknologia bat da, elektronikan, optikan, ontziratzean, dekorazioan eta beste arlo batzuetan oso erabilia dena. Hutsean estaltzeko ekipoak batez ere mota hauetan bana daitezke:
1. Lurruntze termiko bidezko estaldura-ekipoa: hau da hutsean estaltzeko metodorik tradizionalena, lurruntze-ontzian film meheko materiala berotuz, materiala lurrundu eta substratu-materialaren gainazalean metatzen da.
2. Ihinztadura bidezko estaldura-ekipoa: energia handiko ioiak erabiliz helburu-materialaren gainazalean jo, helburu-materialaren atomoak ihinztatu eta substratu-materialean metatzen dira. Magnetron ihinztadurak filmaren atxikimendu uniformeagoa eta sendoagoa lortzen du, ekoizpen masiborako egokia.
3. Ioi-sorta bidezko deposizio-ekipoa: Ioi-sortak erabiltzen dira film meheak substratuan deposizioan jartzeko. Metodo honek film oso uniformeak lor ditzake eta zehaztasun handiko eskakizunak dituztenetarako egokia da, baina ekipamenduaren kostua altua da.
4. Lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) ekipamendua: erreakzio kimiko baten bidez substratu-materialaren gainazalean film meheak sortzen ditu. Metodo honek kalitate handiko eta espezie anitzeko filmak presta ditzake, baina ekipamendua konplexua eta garestia da.
5. Molecular Beam Epitaxy (MBE) ekipoa: Geruza meheen hazkuntza maila atomikoan kontrolatzeko metodo bat da hau, eta batez ere geruza ultrameheak eta geruza anitzeko egiturak prestatzeko erabiltzen da erdieroaleen eta nanoteknologiaren aplikazioetarako.
6. Plasma bidezko lurrun-deposizio kimiko hobetua (PECVD) ekipoa: Teknika honek plasma erabiltzen du film meheen deposizioa erreakzio kimiko baten bidez hobetzeko, eta horrek tenperatura baxuagoetan film meheen eraketa azkarra ahalbidetzen du.
7. Laser bidezko deposizio pultsatuko (PLD) gailuak: Hauek energia handiko laser pultsuak erabiltzen dituzte helburu bat jotzeko, helburuaren gainazaleko materiala lurrundu eta substratu batean uzteko, eta egokiak dira kalitate handiko oxido film konplexuak hazteko.
Gailu horietako bakoitzak bere ezaugarriak ditu diseinuan eta funtzionamenduan, eta egokia da industria-aplikazio eta ikerketa-arlo desberdinetarako. Teknologiaren garapenarekin batera, hutsean estaltzeko teknologia ere aurrera doa, eta hutsean estaltzeko ekipamendu berriak ere sortzen ari dira.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makinaGuangdong Zhenhua fabrikatzailea
Argitaratze data: 2024ko ekainaren 12a