Millised on vaakumkatmisseadmete klassifikatsioonid?

Vaakumkatmistehnoloogia on tehnoloogia, mis sadestab õhukese kile materjali vaakumkeskkonnas alusmaterjalide pinnale ja mida kasutatakse laialdaselt elektroonikas, optikas, pakendites, dekoratsioonis ja muudes valdkondades. Vaakumkatmisseadmed võib jagada peamiselt järgmisteks tüüpideks:

1. Termilise aurustamise katmisseadmed: see on kõige traditsioonilisem vaakumkatmismeetod, kus õhukese kilematerjali kuumutamisel aurustuspaadis aurustatakse materjal ja sadestatakse alusmaterjali pinnale.
2. Pihustuskatmisseadmed: sihtmaterjali pinnale langevate suure energiaga ioonide abil pihustatakse sihtmaterjali aatomeid ja sadestatakse need alusmaterjalile. Magnetronpihustamine võimaldab saavutada kile ühtlasema ja tugevama nakkuvuse, mis sobib masstootmiseks.
3. Ioonkiire sadestamise seadmed: ioonkiire kasutatakse õhukeste kilematerjalide aluspinnale sadestamiseks. Selle meetodi abil saab saada väga ühtlaseid kilesid ja see sobib olukordadeks, kus on vaja suurt täpsust, kuid seadmete hind on kõrge.
4. Keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) seadmed: moodustavad keemilise reaktsiooni abil alusmaterjali pinnale õhukesed kiled. Selle meetodiga saab valmistada kvaliteetseid, mitmest liigist koosnevaid kilesid, kuid seadmed on keerulised ja kulukad.
5. Molekulaarkiirepitaksia (MBE) seadmed: see on õhukeste kilede kasvu aatomitasandil juhtimise meetod ja seda kasutatakse peamiselt üliõhukeste kihtide ja mitmekihiliste struktuuride valmistamiseks pooljuhtide ja nanotehnoloogia rakenduste jaoks.
6. Plasma abil keemilise sadestamise (PECVD) seadmed: see on tehnika, mis kasutab plasmat õhukeste kilede sadestamise kiirendamiseks keemilise reaktsiooni abil, võimaldades õhukeste kilede kiiret moodustumist madalamatel temperatuuridel.
7. Impulsslasersadestamise (PLD) seadmed: need kasutavad sihtmärgi tabamiseks, materjali sihtmärgi pinnalt aurustamiseks ja aluspinnale sadestamiseks suure energiaga laserimpulsse ning sobivad kvaliteetsete ja keerukate oksiidkilede kasvatamiseks.
Igal neist seadmetest on oma disaini- ja tööomadused ning need sobivad erinevateks tööstuslikeks rakendusteks ja uurimisvaldkondadeks. Tehnoloogia arenguga areneb ka vaakumkatmistehnoloogia ja tekivad ka uued vaakumkatmisseadmed.

– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasintootja Guangdong Zhenhua