Vakua tegaĵteknologio estas teknologio, kiu deponas maldikajn filmmaterialojn sur la surfacon de substrataj materialoj sub vakua medio, kiu estas vaste uzata en elektroniko, optiko, pakado, ornamado kaj aliaj kampoj. Vakua tegaĵekipaĵo povas esti ĉefe dividita en la jenajn tipojn:
1. Termika vaporiĝa tegaĵa ekipaĵo: ĉi tiu estas la plej tradicia vakua tegaĵa metodo, per varmigo de la maldika filmmaterialo en la vaporiĝa boato, la materialo vaporiĝas kaj deponiĝas sur la surfacon de la substrata materialo.
2. Ŝpruc-tegaĵa ekipaĵo: uzante alt-energiajn jonojn por trafi la surfacon de la cela materialo, la atomoj de la cela materialo estas ŝprucitaj kaj deponitaj sur la substratan materialon. Magnetrona ŝpruc-tegaĵo kapablas atingi pli unuforman kaj pli fortan adheron de la filmo, taŭgan por amasproduktado.
3. Ekipaĵo por deponado per jonfasko: Jonfaskoj estas uzataj por deponi maldikajn filmmaterialojn sur la substraton. Ĉi tiu metodo povas atingi tre unuformajn filmojn kaj taŭgas por okazoj kun altaj precizecaj postuloj, sed la ekipaĵkosto estas alta.
4. Ekipaĵo por Kemia Vapora Deponado (KVA): Formas maldikajn filmojn sur la surfaco de la substrata materialo per kemia reakcio. Ĉi tiu metodo povas prepari altkvalitajn, multspeciajn filmojn, sed la ekipaĵo estas kompleksa kaj multekosta.
5. Ekipaĵo por Molekula Radioepitaksio (MBE): Ĉi tiu estas metodo por kontroli la kreskon de maldikaj filmoj je la atomnivelo kaj estas ĉefe uzata por la preparado de ultramaldikaj tavoloj kaj plurtavolaj strukturoj por semikonduktaĵaj kaj nanoteknologiaj aplikoj.
6. Ekipaĵo por Plasmo-Plifortigita Kemia Vapora Deponado (PECVD): Ĉi tiu estas tekniko, kiu uzas plasmon por plifortigi la deponadon de maldikaj filmoj per kemia reakcio, permesante rapidan formadon de maldikaj filmoj je pli malaltaj temperaturoj.
7. Pulsitaj Laseraj Deponaj (PLD) aparatoj: Ĉi tiuj uzas alt-energiajn laserpulsojn por trafi celon, vaporigi materialon de la cela surfaco kaj deponi ĝin sur substraton, kaj taŭgas por kreskigi altkvalitajn, kompleksajn oksidajn filmojn.
Ĉiu el ĉi tiuj aparatoj havas siajn proprajn karakterizaĵojn laŭ dezajno kaj funkciado kaj taŭgas por diversaj industriaj aplikoj kaj esploraj kampoj. Kun la disvolviĝo de teknologio, ankaŭ vakuo-tegaĵa teknologio progresas, kaj novaj vakuo-tegaĵaj ekipaĵoj ankaŭ aperas.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita devakua tegaĵmaŝinofabrikisto Guangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 12-a de junio 2024