Οι μηχανικές ιδιότητες του στρώματος μεμβράνης επηρεάζονται από την πρόσφυση, την τάση, την πυκνότητα συσσωμάτωσης κ.λπ. Από τη σχέση μεταξύ του υλικού του στρώματος μεμβράνης και των παραγόντων της διεργασίας, μπορεί να φανεί ότι εάν θέλουμε να βελτιώσουμε τη μηχανική αντοχή του στρώματος μεμβράνης, θα πρέπει να επικεντρωθούμε στις ακόλουθες παραμέτρους της διεργασίας:
(1) επίπεδο κενού. Το κενό στην απόδοση της μεμβράνης είναι πολύ προφανές. Οι περισσότεροι δείκτες απόδοσης της στρώσης μεμβράνης εξαρτώνται σε μεγάλο βαθμό από το επίπεδο κενού. Συνήθως, καθώς αυξάνεται ο βαθμός κενού, αυξάνεται η πυκνότητα συσσωμάτωσης της μεμβράνης, αυξάνεται η σκληρότητα, βελτιώνεται η δομή της μεμβράνης, η χημική σύνθεση γίνεται καθαρή, αλλά ταυτόχρονα αυξάνεται και η τάση.
(2) Ρυθμός εναπόθεσης. Η βελτίωση του ρυθμού εναπόθεσης όχι μόνο μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη βελτίωση του ρυθμού εξάτμισης, δηλαδή για την αύξηση της θερμοκρασίας της πηγής εξάτμισης, αλλά μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την αύξηση της περιοχής της πηγής εξάτμισης, αλλά η χρήση της πηγής εξάτμισης για την αύξηση της θερμοκρασίας της προσέγγισης έχει τα μειονεκτήματά της: η τάση του στρώματος μεμβράνης είναι πολύ μεγάλη. Το αέριο που σχηματίζει φιλμ αποσυντίθεται εύκολα. Επομένως, μερικές φορές η αύξηση της περιοχής της πηγής εξάτμισης από τη βελτίωση της θερμοκρασίας της πηγής εξάτμισης είναι πιο ευνοϊκή.
(3) θερμοκρασία υποστρώματος. Η αύξηση της θερμοκρασίας του υποστρώματος ευνοεί την προσρόφηση στην επιφάνεια του υποστρώματος των υπόλοιπων μορίων αερίου για να αποκλειστεί, αυξάνοντας το υπόστρωμα και τη δύναμη σύνδεσης μεταξύ των εναποτιθέμενων μορίων: ταυτόχρονα θα προωθήσει τη μετατροπή της φυσικής προσρόφησης σε χημική προσρόφηση, θα ενισχύσει την αλληλεπίδραση μεταξύ των μορίων, έτσι ώστε η δομή της μεμβράνης να είναι σφιχτή. Για παράδειγμα, η θέρμανση του υποστρώματος από Mg σε μεμβράνη στους 250 ~ 300 ℃ μπορεί να μειώσει την εσωτερική τάση, να βελτιώσει την πυκνότητα συσσωμάτωσης, να αυξήσει τη σκληρότητα της μεμβράνης: η θέρμανση του υποστρώματος στους 120 ~ 150 ℃ παρασκευάζεται με πολυστρωματική μεμβράνη Zr03-Si02, η μηχανική της αντοχή αυξάνεται σημαντικά, αλλά η πολύ υψηλή θερμοκρασία του υποστρώματος θα προκαλέσει φθορά της μεμβράνης.
(4) Βομβαρδισμός με ιόντα. Ο βομβαρδισμός με ιόντα επηρεάζει τον σχηματισμό επιφανειών υψηλής συνοχής, την τραχύτητα της επιφάνειας, την οξείδωση και την πυκνότητα συσσωμάτωσης. Ο βομβαρδισμός πριν από την επίστρωση μπορεί να καθαρίσει την επιφάνεια και να αυξήσει την πρόσφυση. Ο βομβαρδισμός μετά την επίστρωση μπορεί να βελτιώσει την πυκνότητα συσσωμάτωσης του στρώματος φιλμ κ.λπ., αυξάνοντας έτσι τη μηχανική αντοχή και σκληρότητα.
(5) Καθαρισμός υποστρώματος. Η μέθοδος καθαρισμού του υποστρώματος δεν είναι κατάλληλη ή δεν είναι καθαρή, με αποτέλεσμα υπολειμματικές ακαθαρσίες ή καθαριστικό στο υπόστρωμα να προκαλούν νέα ρύπανση, με διαφορετικές συνθήκες συνοχής και πρόσφυσης στην επικάλυψη, επηρεάζοντας τις δομικές ιδιότητες και το οπτικό πάχος του πρώτου στρώματος, αλλά και μειώνοντας την ευκολία αποκόλλησης του στρώματος φιλμ από το υπόστρωμα, αλλάζοντας έτσι τα χαρακτηριστικά του στρώματος φιλμ.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 04 Μαΐου 2024