1. Η τεχνολογία εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων χαρακτηρίζεται από ισχυρή πρόσφυση μεταξύ της μεμβράνης και του υποστρώματος, με το στρώμα της μεμβράνης να είναι πολύ ισχυρό. Τα πειράματα δείχνουν ότι: η πρόσφυση της εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων από την πρόσφυση της θερμικής εναπόθεσης ατμών αυξάνεται αρκετές φορές έως εκατοντάδες φορές, ο λόγος οφείλεται κυρίως στον βομβαρδισμό ιόντων στην επιφάνεια του καθαρισμού, έτσι ώστε η διεπαφή βάσης μεμβράνης να σχηματίζει μια βαθμιδωτή διεπιφανειακή δομή ή υβριδικό μεταβατικό στρώμα, καθώς και να μειώνει την τάση της μεμβράνης.
2. Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να βελτιώσει τις μηχανικές ιδιότητες της μεμβράνης, να παρατείνει τη διάρκεια ζωής της, πολύ κατάλληλη για την παρασκευή οξειδίων, καρβιδίων, κυβικού BN, TiB2 και επιστρώσεων που μοιάζουν με διαμάντια. Για παράδειγμα, σε χάλυβα ανθεκτικό στη θερμότητα 1Cr18Ni9Ti, η χρήση τεχνολογίας εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων για την ανάπτυξη μεμβράνης Si3N4 200nm, όχι μόνο μπορεί να αναστείλει την εμφάνιση ρωγμών κόπωσης στην επιφάνεια του υλικού, αλλά και να μειώσει σημαντικά τον ρυθμό διάχυσης των ρωγμών κόπωσης, η οποία έχει καλό ρόλο στην παράταση της διάρκειας ζωής της.
3. Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να αλλάξει την τάση της μεμβράνης και τις αλλαγές στην κρυσταλλική της δομή. Για παράδειγμα, κατά την παρασκευή μεμβράνης Cr με βομβαρδισμό της επιφάνειας του υποστρώματος με 11,5keV Xe+ ή Ar+, διαπιστώθηκε ότι η ρύθμιση της θερμοκρασίας του υποστρώματος, της ενέργειας των ιόντων βομβαρδισμού, των ιόντων και των ατόμων για να επιτευχθεί η αναλογία των παραμέτρων, μπορεί να μετατρέψει την τάση από εφελκυστική σε θλιπτική τάση. Η κρυσταλλική δομή της μεμβράνης θα προκαλέσει επίσης αλλαγές. Υπό μια ορισμένη αναλογία άφιξης ιόντων προς άτομα, η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων έχει καλύτερο επιλεκτικό προσανατολισμό από το στρώμα μεμβράνης που εναποτίθεται με θερμική εναπόθεση ατμών.
4. Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να ενισχύσει την αντοχή στη διάβρωση και την αντοχή στην οξείδωση της μεμβράνης. Λόγω της πυκνότητας της εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων του στρώματος της μεμβράνης, η βελτίωση της δομής της διεπαφής της βάσης της μεμβράνης ή ο σχηματισμός άμορφης κατάστασης που προκαλείται από την εξαφάνιση των ορίων των κόκκων μεταξύ των σωματιδίων, γεγονός που ευνοεί την ενίσχυση της αντοχής στη διάβρωση του υλικού και την αντοχή στην οξείδωση σε υψηλές θερμοκρασίες.
5. Η εναπόθεση με υποβοήθηση δέσμης ιόντων μπορεί να αλλάξει τις ηλεκτρομαγνητικές ιδιότητες της μεμβράνης και να βελτιώσει την απόδοση των λεπτών οπτικών μεμβρανών.
6. Η εναπόθεση με υποβοήθηση ιόντων επιτρέπει την ακριβή και ανεξάρτητη ρύθμιση των παραμέτρων που σχετίζονται με την ατομική εναπόθεση και την εμφύτευση ιόντων και επιτρέπει την διαδοχική παραγωγή επικαλύψεων μερικών μικρομέτρων με σταθερή σύνθεση σε χαμηλές ενέργειες βομβαρδισμού, έτσι ώστε διάφορες λεπτές μεμβράνες να μπορούν να αναπτυχθούν σε θερμοκρασία δωματίου, αποφεύγοντας τις δυσμενείς επιπτώσεις σε υλικά ή εξαρτήματα ακριβείας που μπορεί να προκληθούν από την επεξεργασία τους σε υψηλές θερμοκρασίες.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 24 Ιανουαρίου 2024