Die Vakuumerzeugung wird auch als „Vakuumpumpen“ bezeichnet. Dabei werden verschiedene Vakuumpumpen eingesetzt, um die Luft aus einem Behälter zu entfernen, sodass der Druck im Raum unter eine Atmosphäre sinkt. Zur Erzeugung von Vakuum werden derzeit häufig Geräte wie Drehschieber-Vakuumpumpen, Wälzkolbenpumpen, Öldiffusionspumpen, Verbundmolekularpumpen, Molekularsieb-Adsorptionspumpen, Titansublimationspumpen, Sputter-Ionenpumpen und Kryopumpen eingesetzt. Die ersten vier Pumpen dieser Art werden als Gastransferpumpen (Transfer-Vakuumpumpen) bezeichnet. Das bedeutet, dass Gasmoleküle kontinuierlich angesaugt und zur Evakuierung nach außen abgegeben werden. Die letzten vier Pumpen werden als Gasauffangpumpen (Gasauffang-Vakuumpumpen) bezeichnet. Diese kondensieren oder binden Moleküle an der Innenwand der Pumpkammer, um das erforderliche Vakuum zu erzeugen. Gasauffangpumpen werden auch als ölfreie Vakuumpumpen bezeichnet, da sie kein Öl als Arbeitsmedium verwenden. Im Gegensatz zu Transferpumpen, die das Gas dauerhaft entfernen, sind einige Auffangpumpen reversibel, sodass das gesammelte oder kondensierte Gas während des Heizprozesses wieder in das System abgegeben werden kann.
Transfervakuumpumpen werden in zwei Hauptkategorien unterteilt: volumetrische und Impulstransferpumpen. Zu den volumetrischen Transferpumpen gehören üblicherweise Drehschieberpumpen, Flüssigkeitsringpumpen, Kolbenpumpen und Rootspumpen; Impulstransfervakuumpumpen umfassen üblicherweise Molekularpumpen, Strahlpumpen und Öldiffusionspumpen. Capture-Vakuumpumpen umfassen üblicherweise Niedertemperatur-Adsorptions- und Sputter-Ionenpumpen.
Je nach Beschichtungsprozess muss das Vakuum in der Vakuumbeschichtungskammer im Allgemeinen unterschiedliche Werte erreichen. In der Vakuumtechnik wird dieses Niveau eher durch das Grundvakuum (auch Eigenvakuum genannt) ausgedrückt. Das Grundvakuum bezeichnet den Unterdruck in der Vakuumbeschichtungskammer, der durch die Vakuumpumpe erzeugt wird, um den für den Beschichtungsprozess erforderlichen Höchstvakuumbedarf zu decken. Die Größe dieses Vakuums hängt hauptsächlich von der Pumpleistung des Vakuums ab. Der Höchstdruck, den eine Vakuumbeschichtungskammer durch ihr Vakuumsystem erreichen kann, wird als Grenzvakuum (oder Grenzdruck) bezeichnet. Tabelle 1-2 listet den Arbeitsdruckbereich einiger gängiger Vakuumpumpen und den erreichbaren Enddruck auf. Die schattierten Bereiche der Tabelle stellen die Drücke dar, die von den einzelnen Vakuumpumpen in Kombination mit anderen Geräten erreicht werden können.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 30. August 2024