Vakuumbelægningsteknologi er en teknologi, der aflejrer tyndfilmsmaterialer på overfladen af substratmaterialer under vakuummiljø, og som er meget udbredt inden for elektronik, optik, emballage, dekoration og andre områder. Vakuumbelægningsudstyr kan hovedsageligt opdeles i følgende typer:
1. Termisk fordampningsbelægningsudstyr: Dette er den mest traditionelle vakuumbelægningsmetode. Ved at opvarme tyndfilmsmaterialet i fordampningsbåden fordampes materialet og aflejres det på overfladen af substratmaterialet.
2. Sputteringsudstyr: Ved at bruge højenergiioner, der rammer overfladen af målmaterialet, sputteres målmaterialets atomer og aflejres på substratmaterialet. Magnetronsputtering er i stand til at opnå en mere ensartet og stærkere vedhæftning af filmen, hvilket er egnet til masseproduktion.
3. Udstyr til ionstråleaflejring: Ionstråler bruges til at aflejre tyndfilmsmaterialer på substratet. Denne metode kan opnå meget ensartede film og er velegnet til lejligheder med høje præcisionskrav, men udstyrets omkostninger er høje.
4. Udstyr til kemisk dampaflejring (CVD): Danner tynde film på overfladen af substratmaterialet gennem en kemisk reaktion. Denne metode kan fremstille film af høj kvalitet med flere arter, men udstyret er komplekst og dyrt.
5. Molekylærstråleepitaksi (MBE)-udstyr: Dette er en metode til at kontrollere væksten af tyndfilm på atomniveau og anvendes primært til fremstilling af ultratynde lag og flerlagsstrukturer til halvleder- og nanoteknologiske applikationer.
6. Plasmaforstærket kemisk dampaflejringsudstyr (PECVD): Dette er en teknik, der bruger plasma til at forbedre aflejringen af tyndfilm via en kemisk reaktion, hvilket muliggør hurtig dannelse af tyndfilm ved lavere temperaturer.
7. Pulseret laseraflejringsenheder (PLD): Disse bruger højenergilaserpulser til at ramme et mål, fordampe materiale fra måloverfladen og aflejre det på et substrat, og de er velegnede til dyrkning af komplekse oxidfilm af høj kvalitet.
Hver af disse apparater har sine egne karakteristika i design og drift og er velegnede til forskellige industrielle anvendelser og forskningsområder. Med teknologiens udvikling skrider vakuumbelægningsteknologien også frem, og nyt vakuumbelægningsudstyr dukker også op.
– Denne artikel er udgivet afvakuumbelægningsmaskineproducent Guangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 12. juni 2024