Mae technoleg cotio gwactod yn dechnoleg sy'n dyddodi deunyddiau ffilm denau ar wyneb deunyddiau swbstrad o dan amgylchedd gwactod, a ddefnyddir yn helaeth mewn electroneg, opteg, pecynnu, addurno a meysydd eraill. Gellir rhannu offer cotio gwactod yn bennaf i'r mathau canlynol:
1. Offer cotio anweddiad thermol: dyma'r dull cotio gwactod mwyaf traddodiadol, trwy gynhesu'r deunydd ffilm denau yn y cwch anweddu, mae'r deunydd yn cael ei anweddu a'i ddyddodi ar wyneb y deunydd swbstrad.
2. Offer cotio chwistrellu: gan ddefnyddio ïonau egni uchel i daro wyneb y deunydd targed, mae atomau'r deunydd targed yn cael eu chwistrellu a'u dyddodi i'r deunydd swbstrad. Mae chwistrellu magnetron yn gallu cael adlyniad mwy unffurf a chryfach i'r ffilm, sy'n addas ar gyfer cynhyrchu màs.
3. Offer dyddodiad trawst ïon: Defnyddir trawstiau ïon i ddyddodi deunyddiau ffilm denau ar y swbstrad. Gall y dull hwn gael ffilmiau unffurf iawn ac mae'n addas ar gyfer achlysuron lle mae gofynion manwl gywirdeb uchel, ond mae cost yr offer yn uchel.
4. Offer Dyddodiad Anwedd Cemegol (CVD): Yn ffurfio ffilmiau tenau ar wyneb y deunydd swbstrad trwy adwaith cemegol. Gall y dull hwn baratoi ffilmiau aml-rywogaeth o ansawdd uchel, ond mae'r offer yn gymhleth ac yn gostus.
5. Offer Epitacsi Trawst Moleciwlaidd (MBE): Mae hwn yn ddull o reoli twf ffilmiau tenau ar y lefel atomig ac fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer paratoi haenau ultra-denau a strwythurau amlhaen ar gyfer cymwysiadau lled-ddargludyddion a nanotechnoleg.
6. Offer Dyddodiad Anwedd Cemegol wedi'i Wella â Phlasma (PECVD): Mae hon yn dechneg sy'n defnyddio plasma i wella dyddodiad ffilmiau tenau trwy adwaith cemegol, gan ganiatáu ffurfio ffilmiau tenau yn gyflym ar dymheredd is.
7. Dyfeisiau Dyddodiad Laser Pwlsedig (PLD): Mae'r rhain yn defnyddio pylsau laser egni uchel i daro targed, anweddu deunydd o wyneb y targed a'i ddyddodi ar swbstrad, ac maent yn addas ar gyfer tyfu ffilmiau ocsid cymhleth o ansawdd uchel.
Mae gan bob un o'r dyfeisiau hyn ei nodweddion ei hun o ran dyluniad a gweithrediad ac mae'n addas ar gyfer gwahanol gymwysiadau diwydiannol a meysydd ymchwil. Gyda datblygiad technoleg, mae technoleg cotio gwactod hefyd yn datblygu, ac mae offer cotio gwactod newydd hefyd yn dod i'r amlwg.
–Cyhoeddir yr erthygl hon ganpeiriant cotio gwactodgwneuthurwr Guangdong Zhenhua
Amser postio: 12 Mehefin 2024