Mae priodweddau mecanyddol yr haen bilen yn cael eu heffeithio gan yr adlyniad, y straen, y dwysedd agregu, ac ati. O'r berthynas rhwng deunydd yr haen bilen a ffactorau proses, gellir gweld, os ydym am wella cryfder mecanyddol yr haen bilen, y dylem ganolbwyntio ar y paramedrau proses canlynol:
(1) lefel gwactod. Mae gwactod ar berfformiad y ffilm yn amlwg iawn. Mae'r rhan fwyaf o ddangosyddion perfformiad yr haen ffilm yn dibynnu'n fawr ar y lefel gwactod. Fel arfer, wrth i'r radd gwactod gynyddu, mae dwysedd crynhoi'r ffilm yn cynyddu, mae'r cadernid yn cynyddu, mae strwythur y ffilm yn gwella, mae'r cyfansoddiad cemegol yn dod yn bur, ond ar yr un pryd mae'r straen hefyd yn cynyddu.
(2) Cyfradd dyddodiad. Gellir defnyddio gwella'r gyfradd dyddodiad nid yn unig i wella'r gyfradd anweddu, hynny yw, cynyddu tymheredd y ffynhonnell anweddiad, ond gellir ei ddefnyddio hefyd i gynyddu arwynebedd y ffynhonnell anweddiad, ond mae gan ddefnyddio ffynhonnell anweddiad anfanteision: mae straen yr haen bilen yn rhy fawr; mae nwy sy'n ffurfio ffilm yn hawdd i ddadelfennu. Felly weithiau mae cynyddu arwynebedd y ffynhonnell anweddiad yn fwy ffafriol nag i wella tymheredd y ffynhonnell anweddiad.
(3) tymheredd y swbstrad. Mae cynyddu tymheredd y swbstrad yn ffafriol i amsugno moleciwlau nwy sy'n weddill ar wyneb y swbstrad, gan gynyddu'r grym rhwymo rhwng y swbstrad a'r moleciwlau a adneuwyd: ar yr un pryd bydd yn hyrwyddo trosi amsugno corfforol i amsugno cemegol, yn gwella'r rhyngweithio rhwng y moleciwlau, fel bod strwythur yr haen bilen yn dynn. Er enghraifft, gall gwresogi swbstrad Mg y bilen i 250 ~ 300 ℃ leihau'r straen mewnol, gwella'r dwysedd agregu, a chynyddu caledwch yr haen bilen: mae cryfder mecanyddol pilen amlhaen Zr03-Si02, wedi'i baratoi ar gyfer gwresogi swbstrad i 120 ~ 150 ℃, yn cynyddu'n sylweddol, ond bydd tymheredd y swbstrad yn rhy uchel yn achosi dirywiad yr haen bilen.
(4) Bombardio ïonau. Mae bombardio ïonau yn cael effaith ar ffurfio arwynebau hynod gydlynol, garwedd arwyneb, ocsideiddio a dwysedd agregu. Gall y bombardio cyn cotio lanhau'r wyneb a chynyddu'r adlyniad; gall y bombardio ar ôl cotio wella dwysedd agregu'r haen ffilm, ac ati, a thrwy hynny gynyddu'r cryfder mecanyddol a'r caledwch.
(5) Glanhau'r swbstrad. Nid yw'r dull glanhau swbstrad yn briodol neu'n lân, ac mae amhureddau neu asiant glanhau gweddilliol yn y swbstrad yn achosi llygredd newydd. Mae gwahanol amodau cydlyniant ac adlyniad yn yr haen orchudd yn effeithio ar briodweddau strwythurol a thrwch optegol yr haen gyntaf, ac mae hefyd yn gwneud i'r haen ffilm ddod i ffwrdd o'r swbstrad yn hawdd, gan newid nodweddion yr haen ffilm.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Mai-04-2024