1. Nodweddir technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon gan adlyniad cryf rhwng y bilen a'r swbstrad, ac mae'r haen bilen yn gryf iawn. Mae arbrofion yn dangos bod: adlyniad dyddodiad â chymorth trawst ïon yn cynyddu sawl gwaith i gannoedd o weithiau nag adlyniad dyddodiad anwedd thermol, a'r rheswm yn bennaf yw effaith glanhau'r bomio ïon ar yr wyneb, gan ffurfio strwythur rhyngwyneb graddiant ar sail y bilen, neu haen drawsnewid hybrid, a lleihau straen y bilen.
2. Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon wella priodweddau mecanyddol y ffilm, ymestyn oes blinder, ac mae'n addas iawn ar gyfer paratoi ocsidau, carbidau, BN ciwbig, TiB2, a haenau tebyg i ddiamwnt. Er enghraifft, mewn dur gwrthsefyll gwres 1Cr18Ni9Ti, gall defnyddio technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon i dyfu ffilm Si3N4 200nm nid yn unig atal ymddangosiad craciau blinder ar wyneb y deunydd, ond hefyd leihau cyfradd trylediad craciau blinder yn sylweddol, gan chwarae rhan dda i ymestyn ei oes.
3. Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon newid natur straen y ffilm a newidiadau i'w strwythur crisialog. Er enghraifft, wrth baratoi ffilm Cr gyda bomio 11.5keV Xe + neu Ar + ar wyneb y swbstrad, canfuwyd bod addasu tymheredd y swbstrad, egni ïon bomio, ïonau ac atomau i gyrraedd y gymhareb o baramedrau, yn gallu newid y straen o straen tynnol i straen cywasgol, a bydd strwythur crisialog y ffilm hefyd yn cynhyrchu newidiadau. O dan gymhareb cyrraedd ïon-i-atom benodol, mae gan y dyddodiad â chymorth trawst ïon gyfeiriadedd dethol gwell na'r haen bilen a ddyddodir gan ddyddodiad anwedd thermol.
4. Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon wella ymwrthedd cyrydiad a gwrthiant ocsideiddio'r bilen. Oherwydd dwysedd dyddodiad yr haen ffilm â chymorth trawst ïon, mae gwelliant strwythur rhyngwyneb sylfaen y ffilm neu ffurfio cyflwr amorffaidd a achosir gan ddiflaniad y ffiniau grawn rhwng y gronynnau, sy'n ffafriol i wella ymwrthedd cyrydiad y deunydd a gwrthsefyll ocsideiddio tymheredd uchel.
5. Gall dyddodiad â chymorth trawst ïon newid priodweddau electromagnetig y ffilm a gwella perfformiad ffilmiau tenau optegol.
6. Mae dyddodiad â chymorth ïonau yn caniatáu addasu'r paramedrau sy'n gysylltiedig â dyddodiad atomig ac mewnblannu ïonau yn fanwl gywir ac yn annibynnol, ac yn caniatáu cynhyrchu haenau o ychydig ficrometrau yn olynol gyda chyfansoddiad cyson ar egni bomio isel, fel y gellir tyfu amrywiol ffilmiau tenau ar dymheredd ystafell, gan osgoi'r effeithiau andwyol ar ddeunyddiau neu rannau manwl a allai gael eu hachosi trwy eu trin ar dymheredd uchel.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Ion-24-2024