Mae gan dechnoleg cotio CVD y nodweddion canlynol:
1. Mae gweithrediad proses offer CVD yn gymharol syml a hyblyg, a gall baratoi ffilmiau sengl neu gyfansawdd a ffilmiau aloi gyda gwahanol gyfrannau;
2. Mae gan orchudd CVD ystod eang o gymwysiadau, a gellir ei ddefnyddio i baratoi amrywiol orchuddiadau metel neu ffilm fetel;
3. Effeithlonrwydd cynhyrchu uchel oherwydd cyfraddau dyddodiad sy'n amrywio o ychydig ficronau i gannoedd o ficronau y funud;
4. O'i gymharu â'r dull PVD, mae gan CVD berfformiad diffractiad gwell ac mae'n addas iawn ar gyfer gorchuddio swbstradau â siapiau cymhleth, fel rhigolau, tyllau wedi'u gorchuddio, a hyd yn oed strwythurau twll dall. Gellir platio'r cotio i mewn i ffilm gyda chrynodeb da. Oherwydd y tymheredd uchel yn ystod y broses ffurfio ffilm, a'r adlyniad cryf ar ryngwyneb swbstrad y ffilm, mae'r haen ffilm yn gadarn iawn.
5. Mae'r difrod a achosir gan ymbelydredd yn gymharol isel a gellir ei integreiddio â phrosesau cylched integredig MOS.
——Cyhoeddwyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua, agwneuthurwr peiriant cotio gwactod
Amser postio: Mawrth-29-2023