Na mehanička svojstva membranskog sloja utiču adhezija, napon, gustina agregacije itd. Iz odnosa između materijala membranskog sloja i faktora procesa, može se vidjeti da ako želimo poboljšati mehaničku čvrstoću membranskog sloja, trebamo se fokusirati na sljedeće parametre procesa:
(1) nivo vakuuma. Uticaj vakuuma na performanse filma je vrlo očigledan. Većina pokazatelja performansi sloja filma uveliko zavisi od nivoa vakuuma. Obično, kako se stepen vakuuma povećava, gustina agregacije filma se povećava, čvrstoća se povećava, struktura filma se poboljšava, hemijski sastav postaje čistiji, ali istovremeno se povećava i napon.
(2) Brzina taloženja. Poboljšanje brzine taloženja ne samo da može poboljšati brzinu isparavanja, odnosno povećati temperaturu izvora isparavanja, već se može koristiti i za povećanje površine izvora isparavanja. Međutim, korištenje izvora isparavanja za povećanje temperature ima svoje nedostatke: napon membranskog sloja je prevelik; plin koji stvara film se lako razgrađuje. Stoga je ponekad povoljnije povećati površinu izvora isparavanja nego poboljšati temperaturu izvora isparavanja.
(3) temperatura supstrata. Povećanje temperature supstrata pogoduje adsorpciji preostalih molekula gasa na površini supstrata, čime se povećava sila vezivanja supstrata i deponovanih molekula: istovremeno se podstiče pretvaranje fizičke adsorpcije u hemijsku adsorpciju, poboljšava interakcija između molekula, tako da je struktura membranskog sloja čvrsta. Na primjer, zagrijavanje supstrata Mg membrane na 250 ~ 300 ℃ može smanjiti unutrašnji napon, poboljšati gustinu agregacije i povećati tvrdoću membranskog sloja: zagrijavanje supstrata na 120 ~ 150 ℃ pripremljene višeslojne membrane Zr03-Si02, njena mehanička čvrstoća se znatno povećava, ali previsoka temperatura supstrata uzrokuje propadanje membranskog sloja.
(4) Bombardovanje ionima. Bombardovanje ionima utiče na formiranje visoko kohezivnih površina, hrapavost površine, oksidaciju i gustinu agregacije. Bombardovanje prije nanošenja premaza može očistiti površinu i povećati prianjanje; bombardovanje nakon nanošenja premaza može poboljšati gustinu agregacije sloja filma itd., čime se povećava mehanička čvrstoća i tvrdoća.
(5) Čišćenje podloge. Ako metoda čišćenja podloge nije odgovarajuća ili nije čista, u podlozi ostaju nečistoće ili sredstvo za čišćenje, što uzrokuje novo onečišćenje. U premazu se javljaju različiti uslovi kohezije i prianjanja, što utiče na strukturna svojstva i optičku debljinu prvog sloja, ali i na lako odvajanje filma od podloge, što mijenja karakteristike filma.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 04.05.2024.