1. Tehnologija taloženja uz pomoć jonskog snopa karakterizira se jakom adhezijom između membrane i podloge, pri čemu je membranski sloj vrlo jak. Eksperimenti pokazuju da: taloženje uz pomoć jonskog snopa ima nekoliko puta, pa čak i stotinama puta veću adheziju od termičke depozicije iz pare, a razlog tome je uglavnom bombardiranje jonima na površini, što ima učinak čišćenja. Baza membrane formira gradijentnu strukturu na međupovršini ili hibridni prelazni sloj, što smanjuje naprezanje membrane.
2. Taloženje uz pomoć ionskog snopa može poboljšati mehanička svojstva filma, produžiti vijek trajanja od zamora, što je vrlo pogodno za pripremu oksida, karbida, kubnog BN, TiB2 i dijamantskih premaza. Na primjer, kod čelika otpornog na toplinu 1Cr18Ni9Ti, korištenje tehnologije taloženja uz pomoć ionskog snopa za uzgoj filma Si3N4 debljine 200 nm ne samo da može spriječiti pojavu pukotina usljed zamora na površini materijala, već i značajno smanjiti brzinu širenja pukotina usljed zamora, što ima važnu ulogu u produžavanju vijeka trajanja.
3. Taloženje uz pomoć jonskog snopa može promijeniti prirodu napona filma i promijeniti njegovu kristalnu strukturu. Na primjer, prilikom pripreme Cr filma bombardovanjem površine supstrata Xe+ ili Ar+ izotermom od 11,5 keV, utvrđeno je da podešavanje temperature supstrata, energije bombardovanja jonima, jonima i atomima, kako bi se postigao odnos parametara, može dovesti do promjene napona od zateznog do tlačnog napona, što će također izazvati promjene u kristalnoj strukturi filma. Pod određenim odnosom dolaska jona i atoma, taloženje uz pomoć jonskog snopa ima bolju selektivnu orijentaciju od membranskog sloja taloženog termičkim taloženjem iz pare.
4. Taloženje uz pomoć jonskog snopa može poboljšati otpornost membrane na koroziju i oksidaciju. Zbog gustoće sloja filma taloženja uz pomoć jonskog snopa, struktura baze filma na granici površine poboljšava se ili se formira amorfno stanje uzrokovano nestankom granica zrna između čestica, što doprinosi povećanju otpornosti materijala na koroziju i otpornosti na oksidaciju na visokim temperaturama.
5. Taloženje uz pomoć jonskog snopa može promijeniti elektromagnetna svojstva filma i poboljšati performanse tankih optičkih filmova.
6. Taloženje uz pomoć iona omogućava precizno i nezavisno podešavanje parametara vezanih za atomsko taloženje i implantaciju iona, te omogućava sukcesivno generiranje premaza od nekoliko mikrometara s konzistentnim sastavom pri niskim energijama bombardiranja, tako da se različiti tanki filmovi mogu uzgajati na sobnoj temperaturi, izbjegavajući štetne učinke na materijale ili precizne dijelove koji mogu biti uzrokovani njihovom obradom na povišenim temperaturama.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 24. januar 2024.