CVD tehnologija premazivanja ima sljedeće karakteristike:
1. Proces rada CVD opreme je relativno jednostavan i fleksibilan, te može pripremiti pojedinačne ili kompozitne filmove i legirane filmove s različitim omjerima;
2. CVD premaz ima širok spektar primjene i može se koristiti za pripremu različitih metalnih ili metalnih filmskih premaza;
3. Visoka efikasnost proizvodnje zbog brzina nanošenja u rasponu od nekoliko mikrona do stotina mikrona u minuti;
4. U poređenju sa PVD metodom, CVD ima bolje difrakcijske performanse i veoma je pogodan za premazivanje podloga složenih oblika, kao što su žljebovi, premazane rupe, pa čak i strukture sa slijepim rupama. Premaz se može nanijeti u film sa dobrom kompaktnošću. Zbog visoke temperature tokom procesa formiranja filma i jakog prianjanja na granici filma i podloge, sloj filma je veoma čvrst.
5. Šteta uzrokovana zračenjem je relativno niska i može se integrirati s MOS procesima integriranih kola.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua,proizvođač mašina za vakuumsko premazivanje
Vrijeme objave: 29. mart 2023.