ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রযুক্তি হল এমন একটি প্রযুক্তি যা ভ্যাকুয়াম পরিবেশে সাবস্ট্রেট উপকরণের পৃষ্ঠে পাতলা ফিল্ম উপকরণ জমা করে, যা ইলেকট্রনিক্স, অপটিক্স, প্যাকেজিং, সাজসজ্জা এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জামগুলিকে প্রধানত নিম্নলিখিত প্রকারে ভাগ করা যেতে পারে:
1. তাপীয় বাষ্পীভবন আবরণ সরঞ্জাম: এটি সবচেয়ে ঐতিহ্যবাহী ভ্যাকুয়াম আবরণ পদ্ধতি, বাষ্পীভবন নৌকায় পাতলা ফিল্ম উপাদান গরম করে, উপাদানটি বাষ্পীভূত হয় এবং সাবস্ট্রেট উপাদানের পৃষ্ঠে জমা হয়।
2. স্পুটারিং লেপ সরঞ্জাম: লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠে আঘাত করার জন্য উচ্চ-শক্তি আয়ন ব্যবহার করে, লক্ষ্যবস্তুর পরমাণুগুলিকে স্পুটার করা হয় এবং সাবস্ট্রেট উপাদানে জমা করা হয়। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ফিল্মের আরও অভিন্ন এবং শক্তিশালী আনুগত্য পেতে সক্ষম, যা ব্যাপক উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত।
৩.আয়ন বিম জমা করার সরঞ্জাম: সাবস্ট্রেটে পাতলা ফিল্ম উপকরণ জমা করার জন্য আয়ন বিম ব্যবহার করা হয়। এই পদ্ধতিটি খুব অভিন্ন ফিল্ম পেতে পারে এবং উচ্চ নির্ভুলতার প্রয়োজনীয়তা সহ অনুষ্ঠানের জন্য উপযুক্ত, তবে সরঞ্জামের দাম বেশি।
৪. রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) সরঞ্জাম: রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে স্তর উপাদানের পৃষ্ঠে পাতলা আবরণ তৈরি করে। এই পদ্ধতিতে উচ্চমানের, বহু-প্রজাতির আবরণ তৈরি করা যেতে পারে, তবে সরঞ্জামগুলি জটিল এবং ব্যয়বহুল।
৫. মলিকুলার বিম এপিট্যাক্সি (MBE) সরঞ্জাম: এটি পারমাণবিক স্তরে পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি নিয়ন্ত্রণের একটি পদ্ধতি এবং এটি মূলত সেমিকন্ডাক্টর এবং ন্যানোপ্রযুক্তি প্রয়োগের জন্য অতি-পাতলা স্তর এবং বহুস্তর কাঠামো তৈরির জন্য ব্যবহৃত হয়।
৬. প্লাজমা এনহ্যান্সড কেমিক্যাল ভ্যাপার ডিপোজিশন (PECVD) সরঞ্জাম: এটি এমন একটি কৌশল যা রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে পাতলা ফিল্মের ডিপোজিশন বাড়ানোর জন্য প্লাজমা ব্যবহার করে, যা কম তাপমাত্রায় দ্রুত পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে সাহায্য করে।
৭. পালসড লেজার ডিপোজিশন (PLD) ডিভাইস: এগুলি উচ্চ-শক্তির লেজার পালস ব্যবহার করে লক্ষ্যবস্তুতে আঘাত করে, লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠ থেকে উপাদান বাষ্পীভূত করে এবং একটি সাবস্ট্রেটে জমা করে, এবং উচ্চ-মানের, জটিল অক্সাইড ফিল্ম বৃদ্ধির জন্য উপযুক্ত।
এই প্রতিটি ডিভাইসের নকশা এবং পরিচালনার নিজস্ব বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং বিভিন্ন শিল্প অ্যাপ্লিকেশন এবং গবেষণা ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত। প্রযুক্তির বিকাশের সাথে সাথে, ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রযুক্তিও এগিয়ে চলেছে, এবং নতুন ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জামও আবির্ভূত হচ্ছে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনপ্রস্তুতকারক গুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: জুন-১২-২০২৪