На механічныя ўласцівасці мембраннага пласта ўплываюць адгезія, напружанне, шчыльнасць агрэгацыі і г.д. З узаемасувязі паміж матэрыялам мембраннага пласта і фактарамі працэсу відаць, што калі мы хочам палепшыць механічную трываласць мембраннага пласта, нам варта засяродзіцца на наступных параметрах працэсу:
(1) Узровень вакууму. Уплыў вакууму на характарыстыкі плёнкі вельмі відавочны. Большасць паказчыкаў эфектыўнасці плёнкавага пласта вельмі залежаць ад узроўню вакууму. Звычайна, з павелічэннем ступені вакууму, павялічваецца шчыльнасць агрэгацыі плёнкі, павялічваецца трываласць, паляпшаецца структура плёнкі, хімічны склад становіцца чыстым, але адначасова павялічваецца і напружанне.
(2) Хуткасць адкладання. Паляпшэнне хуткасці адкладання можа быць выкарыстана не толькі для паляпшэння хуткасці выпарэння, гэта значыць для павышэння тэмпературы крыніцы выпарэння, але і для павелічэння плошчы крыніцы выпарэння. Аднак выкарыстанне крыніцы выпарэння для павышэння тэмпературы мае свае недахопы: напружанне мембраннага пласта занадта вялікае; плёнкаўтваральны газ лёгка раскладаецца. Таму часам больш выгадна павялічыць плошчу крыніцы выпарэння, чым палепшыць тэмпературу крыніцы выпарэння.
(3) Тэмпература падкладкі. Павышэнне тэмпературы падкладкі спрыяе адсорбцыі рэшткі малекул газу на паверхні падкладкі, павялічваючы сілу сувязі паміж адкладзенымі малекуламі падкладкі: адначасова спрыяе пераўтварэнню фізічнай адсорбцыі ў хімічную, паляпшае ўзаемадзеянне паміж малекуламі, у выніку чаго структура мембраннага пласта становіцца шчыльнай. Напрыклад, награванне падкладкі Mg з мембранай да 250~300 ℃ можа знізіць унутранае напружанне, палепшыць шчыльнасць агрэгацыі і павялічыць цвёрдасць мембраннага пласта: награванне падкладкі да 120~150 ℃ для падрыхтаванай шматслаёвай мембраны Zr03-Si02 значна павялічвае яе механічную трываласць, але занадта высокая тэмпература падкладкі прывядзе да пагаршэння стану мембраннага пласта.
(4) Іонная бамбардзіроўка. Іонная бамбардзіроўка ўплывае на ўтварэнне высокакагезійных паверхняў, шурпатасць паверхні, акісленне і шчыльнасць агрэгацыі. Бамбардзіроўка перад пакрыццём можа ачысціць паверхню і павялічыць адгезію; бамбардзіроўка пасля пакрыцця можа палепшыць шчыльнасць агрэгацыі плёнкавага пласта і г.д., тым самым павялічваючы механічную трываласць і цвёрдасць.
(5) Ачыстка падкладкі. Калі метад ачысткі падкладкі не падыходзіць або яна не чыстая, у падкладцы застаюцца рэшткі прымешак або ачышчальнага сродку, што прыводзіць да новых забруджванняў. Гэта змяняе ўмовы згуртавання і адгезіі пакрыцця, уплываючы на структурныя ўласцівасці і аптычную таўшчыню першага пласта, а таксама прымушае плёнку лёгка аддзяляцца ад падкладкі, змяняючы яе характарыстыкі.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 04.05.2024