1. Тэхналогія іённа-прамянёвага нанясення характарызуецца моцнай адгезіяй паміж мембранай і падкладкай, прычым мембранны пласт вельмі трывалы. Эксперыменты паказваюць, што адгезія пры іённа-прамянёвым нанясенні ў некалькі разоў ці нават у сотні разоў перавышае адгезію пры тэрмічным нанясенні з паравой фазы. Прычына ў асноўным у тым, што іённая бамбардзіроўка паверхні ачышчае яе, у выніку чаго на паверхні мембраны ўтвараецца градыентная міжфазная структура або гібрыдны пераходны пласт, што зніжае напружанне мембраны.
2. Іённа-прамянёвае нанясенне можа палепшыць механічныя ўласцівасці плёнкі, падоўжыць тэрмін службы, вельмі падыходзіць для падрыхтоўкі аксідных, карбідных, кубічных BN, TiB2 і алмазопадобных пакрыццяў. Напрыклад, пры вырошчванні плёнкі Si3N4 таўшчынёй 200 нм з цеплаўстойлівай сталі 1Cr18Ni9Ti, якая выкарыстоўваецца з дапамогай іённа-прамянёвага нанясення, не толькі прадухіляе з'яўленне расколін ад стомленасці на паверхні матэрыялу, але і значна зніжае хуткасць распаўсюджвання расколін ад стомленасці, што спрыяе падаўжэнню тэрміну службы.
3. Іённа-прамянёвае нанясенне можа змяніць характар напружання ў плёнцы і яе крышталічную структуру. Напрыклад, пры падрыхтоўцы плёнкі Cr з дапамогай бамбардзіроўкі паверхні падкладкі Xe+ або Ar+ з энергіяй 11,5 кэВ было выяўлена, што рэгуляванне тэмпературы падкладкі, энергіі іонаў бамбардзіроўкі, колькасці іонаў і атамаў для дасягнення патрэбнага суадносін параметраў можа змяніць напружанне ад расцяжнога да сціскальнага, што таксама прывядзе да зменаў у крышталічнай структуры плёнкі. Пры пэўным суадносінах паступлення іонаў да атамаў, іённа-прамянёвае нанясенне мае лепшую селектыўную арыентацыю, чым мембранны пласт, нанесены метадам тэрмічнага нанясення з паравой фазы.
4. Іонна-прамянёвае нанясенне можа павысіць каразійную стойкасць і ўстойлівасць да акіслення мембраны. Дзякуючы шчыльнасці плёнкавага пласта, нанесенага іонна-прамянёвым нанясеннем, структура паверхні асновы плёнкі паляпшаецца або ўтвараецца аморфны стан, выкліканы знікненнем межаў зерняў паміж часціцамі, што спрыяе павышэнню каразійнай стойкасці матэрыялу і супраціўляецца акісленню пры высокіх тэмпературах.
5. Нанясенне з дапамогай іённага прамяня можа змяніць электрамагнітныя ўласцівасці плёнкі і палепшыць характарыстыкі аптычных тонкіх плёнак.
6. Іонна-асіставанае нанясенне дазваляе дакладна і незалежна рэгуляваць параметры, звязаныя з атамным нанясеннем і іённай імплантацыяй, а таксама паслядоўна ствараць пакрыцці памерам у некалькі мікраметраў з аднолькавым складам пры нізкіх энергіях бамбардзіроўкі, што дазваляе вырошчваць розныя тонкія плёнкі пры пакаёвай тэмпературы, пазбягаючы негатыўнага ўздзеяння на матэрыялы або дакладныя дэталі, якія могуць узнікнуць пры іх апрацоўцы пры падвышаных тэмпературах.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 24 студзеня 2024 г.