Vakuum örtük texnologiyası elektronika, optika, qablaşdırma, bəzək və digər sahələrdə geniş istifadə olunan vakuum mühitində alt təbəqə materiallarının səthinə nazik təbəqə materialları yatıran texnologiyadır. Vakuum örtük avadanlığı əsasən aşağıdakı növlərə bölünə bilər:
1. Termal buxarlanma örtük avadanlığı: bu, ən ənənəvi vakuum örtük üsuludur, buxarlanma gəmisində nazik film materialını qızdırmaqla material buxarlanır və substrat materialının səthinə yerləşdirilir.
2. Püskürtmə örtük avadanlığı: hədəf materialın səthinə vurmaq üçün yüksək enerjili ionlardan istifadə edərək, hədəf material atomları püskürür və substrat materialına yerləşdirilir. Maqnetron püskürtmə, kütləvi istehsal üçün uyğun olan filmin daha vahid və daha güclü yapışmasını əldə etməyə qadirdir.
3.İon şüası çökdürmə avadanlığı: İon şüaları nazik film materiallarını substratın üzərinə qoymaq üçün istifadə olunur. Bu üsul çox vahid filmlər əldə edə bilər və yüksək dəqiqlik tələbləri olan hallar üçün uyğundur, lakin avadanlıq dəyəri yüksəkdir.
4. Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) Avadanlığı: Kimyəvi reaksiya vasitəsilə substrat materialının səthində nazik təbəqələr əmələ gətirir. Bu üsul yüksək keyfiyyətli, çox növlü filmlər hazırlaya bilər, lakin avadanlıq mürəkkəb və bahalıdır.
5. Molekulyar Şüa Epitaksiyası (MBE) avadanlığı: Bu, atom səviyyəsində nazik təbəqələrin böyüməsinə nəzarət etmək üsuludur və əsasən yarımkeçirici və nanotexnologiya tətbiqləri üçün ultra nazik təbəqələrin və çoxqatlı strukturların hazırlanmasında istifadə olunur.
6. Plazma Təkmilləşdirilmiş Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (PECVD) avadanlığı: Bu, kimyəvi reaksiya ilə nazik təbəqələrin çökdürülməsini artırmaq üçün plazmadan istifadə edən və daha aşağı temperaturlarda nazik təbəqələrin sürətlə formalaşmasına imkan verən bir texnikadır.
7. Pulsed Lazer Deposition (PLD) cihazları: Bunlar hədəfi vurmaq üçün yüksək enerjili lazer impulslarından istifadə edir, materialı hədəf səthdən buxarlayır və onu substratın üzərinə çökdürür və yüksək keyfiyyətli, mürəkkəb oksid filmlərinin yetişdirilməsi üçün uyğundur.
Bu cihazların hər biri dizayn və istismarda öz xüsusiyyətlərinə malikdir və müxtəlif sənaye tətbiqləri və tədqiqat sahələri üçün uyğundur. Texnologiyanın inkişafı ilə vakuum örtük texnologiyası da inkişaf edir və yeni vakuum örtük avadanlıqları da ortaya çıxır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşınıistehsalçı Guangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 12 iyun 2024-cü il