Membran təbəqəsinin mexaniki xassələrinə yapışma, gərginlik, aqreqasiya sıxlığı və s. təsir göstərir. Membran təbəqəsinin materialı ilə proses amilləri arasındakı əlaqədən belə görünür ki, membran təbəqəsinin mexaniki möhkəmliyini yaxşılaşdırmaq istəyiriksə, aşağıdakı proses parametrlərinə diqqət yetirməliyik:
(1) vakuum səviyyəsi. Filmin performansında vakuum çox açıqdır. Film təbəqəsinin performans göstəricilərinin əksəriyyəti vakuum səviyyəsindən çox asılıdır. Adətən, vakuum dərəcəsi artdıqca, filmin aqreqasiya sıxlığı artır, möhkəmlik artır, film quruluşu yaxşılaşır, kimyəvi tərkibi təmiz olur, lakin eyni zamanda gərginlik də artır.
(2) Depozit dərəcəsi. Çöküntü sürətini yaxşılaşdırmaq yalnız buxarlanma dərəcəsini yaxşılaşdırmaq üçün istifadə edilə bilməz, yəni buxarlanma mənbəyinin temperaturu yanaşmasını artırmaq, həmçinin nail olmaq üçün buxarlanma mənbəyi sahəsi yanaşmasını artırmaq üçün istifadə edilə bilər, lakin yanaşmanın temperaturunu artırmaq üçün buxarlanma mənbəyindən istifadənin çatışmazlıqları var: membran təbəqəsinin gərginliyini çox böyük etmək; film əmələ gətirən qaz asanlıqla parçalanır. Buna görə bəzən buxarlanma mənbəyinin sahəsini artırmaqdansa, buxarlanma mənbəyinin temperaturunu yaxşılaşdırmaq daha əlverişlidir.
(3) substratın temperaturu. Substratın temperaturunu artırmaq, qalan qaz molekullarının substrat səthində adsorbsiyaya şərait yaradır, substratı və çökdürülmüş molekullar arasında bağlama qüvvəsini artırır: eyni zamanda fiziki adsorbsiyanın kimyəvi adsorbsiyaya çevrilməsinə kömək edəcək, molekullar arasında qarşılıqlı əlaqəni gücləndirəcək, beləliklə membran təbəqəsinin strukturu sıxdır. Məsələn, Mg, membran, substratın 250 ~ 300 ℃ istiləşməsi daxili gərginliyi azalda bilər, aqreqasiya sıxlığını yaxşılaşdıra bilər, membran qatının sərtliyini artıra bilər: substratın 120 ~ 150 ℃ qızdırılması Zr03-Si02 hazırlanmış, çox qatlı membran, onun mexaniki gücü membranın çox yüksək temperaturuna səbəb olur, lakin substratın çox yüksək temperaturuna səbəb olur.
(4) İon bombardmanı. İon bombardmanı yüksək yapışqan səthlərin əmələ gəlməsinə, səthin pürüzlülüyünə, oksidləşməyə və aqreqasiya sıxlığına təsir göstərir. Kaplamadan əvvəl bombardman səthi təmizləyə və yapışmanı artıra bilər; örtükdən sonra bombardman film təbəqəsinin yığılma sıxlığını və s. yaxşılaşdıra bilər, beləliklə mexaniki gücü və sərtliyi artırır.
(5) Substratın təmizlənməsi. Substratın təmizlənməsi üsulu uyğun deyil və ya təmiz deyil, substratda qalıq çirkləri və ya təmizləyici vasitədə, sonra yeni çirklənməyə səbəb olur, müxtəlif birləşmə şərtləri və yapışma ilə örtülmədə, struktur xüsusiyyətlərinin və optik qalınlığın birinci qatına təsir edir, həm də film təbəqəsini substratdan asanlıqla çıxarır, beləliklə film təbəqəsinin xüsusiyyətlərini dəyişir.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 04 may 2024-cü il