تقنية طلاء الفراغ هي تقنية ترسيب مواد رقيقة على سطح المواد الأساسية في بيئة فراغية، وتُستخدم على نطاق واسع في الإلكترونيات والبصريات والتغليف والديكور وغيرها. تنقسم معدات طلاء الفراغ بشكل رئيسي إلى الأنواع التالية:
1. معدات طلاء التبخر الحراري: هذه هي طريقة طلاء الفراغ الأكثر تقليدية، عن طريق تسخين مادة الفيلم الرقيق في قارب التبخر، يتم تبخير المادة وترسيبها على سطح مادة الركيزة.
٢. معدات طلاء الرش: باستخدام أيونات عالية الطاقة تضرب سطح المادة المستهدفة، تُرشّ ذرات المادة المستهدفة وتُرسَب على مادة الركيزة. يُتيح الرش المغناطيسي تحقيق التصاق أكثر اتساقًا وقوةً للفيلم، وهو مناسب للإنتاج بكميات كبيرة.
٣. معدات ترسيب الحزم الأيونية: تُستخدم الحزم الأيونية لترسيب مواد الأغشية الرقيقة على الركيزة. تتيح هذه الطريقة الحصول على أغشية موحدة للغاية، وهي مناسبة للحالات التي تتطلب دقة عالية، إلا أن تكلفة المعدات مرتفعة.
٤. جهاز الترسيب الكيميائي للبخار (CVD): يُكوّن أغشية رقيقة على سطح مادة الركيزة من خلال تفاعل كيميائي. تُمكّن هذه الطريقة من تحضير أغشية عالية الجودة ومتعددة الأنواع، إلا أن معداتها معقدة ومكلفة.
5. معدات Molecular Beam Epitaxy (MBE): وهي طريقة للتحكم في نمو الأغشية الرقيقة على المستوى الذري وتستخدم بشكل أساسي لإعداد طبقات رقيقة للغاية وهياكل متعددة الطبقات لتطبيقات أشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو.
6. أجهزة الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD): وهي تقنية تستخدم البلازما لتعزيز ترسب الأغشية الرقيقة من خلال تفاعل كيميائي، مما يسمح بتكوين الأغشية الرقيقة بسرعة عند درجات حرارة منخفضة.
7. أجهزة ترسيب الليزر النبضي (PLD): تستخدم هذه الأجهزة نبضات ليزر عالية الطاقة لضرب هدف، وتبخير المواد من سطح الهدف وترسيبها على ركيزة، وهي مناسبة لتنمية أفلام أكسيد معقدة وعالية الجودة.
لكلٍّ من هذه الأجهزة خصائصه الخاصة في التصميم والتشغيل، وهو مناسب لمختلف التطبيقات الصناعية ومجالات البحث. ومع تطور التكنولوجيا، تتطور أيضًا تقنية الطلاء الفراغي، وتظهر أيضًا معدات طلاء فراغية جديدة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةآلة طلاء الفراغالشركة المصنعة قوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١٢ يونيو ٢٠٢٤