طرق عملية لتحسين القوة الميكانيكية لطبقة الفيلم

تتأثر الخصائص الميكانيكية لطبقة الغشاء بالالتصاق والإجهاد وكثافة التجمع وما إلى ذلك. ومن العلاقة بين مادة طبقة الغشاء وعوامل العملية، يمكن ملاحظة أنه إذا أردنا تحسين القوة الميكانيكية لطبقة الغشاء، فيجب أن نركز على معلمات العملية التالية:

(١) مستوى الفراغ. يؤثر الفراغ على أداء الفيلم بشكل واضح. تعتمد معظم مؤشرات أداء طبقة الفيلم بشكل كبير على مستوى الفراغ. عادةً، مع زيادة مستوى الفراغ، تزداد كثافة تجمع الفيلم، ويزداد تماسكه، ويتحسن تركيبه الكيميائي، ويصبح تركيبه الكيميائي نقيًا، ولكن في الوقت نفسه، يزداد الضغط.

(2) معدل الترسيب. لا يقتصر تحسين معدل الترسيب على تحسين معدل التبخر، أي زيادة درجة حرارة مصدر التبخر، بل يمكن استخدامه أيضًا لزيادة مساحة مصدر التبخر. ومع ذلك، فإن استخدام مصدر التبخر لزيادة درجة حرارة النهج له عيوبه: حيث يكون ضغط طبقة الغشاء كبيرًا جدًا؛ ويسهل تحلل الغاز المكوّن للفيلم. لذلك، في بعض الأحيان، تكون زيادة مساحة مصدر التبخر أكثر ملاءمة من تحسين درجة حرارته.

(3) درجة حرارة الركيزة. زيادة درجة حرارة الركيزة تساعد على امتصاص جزيئات الغاز المتبقية على سطح الركيزة لاستبعادها، وزيادة الركيزة وقوة الارتباط بين الجزيئات المترسبة: في الوقت نفسه، سيعزز تحويل الامتزاز الفيزيائي إلى امتزاز كيميائي، ويعزز التفاعل بين الجزيئات، بحيث تكون بنية طبقة الغشاء محكمة. على سبيل المثال، يمكن لتسخين الركيزة Mg إلى 250 ~ 300 درجة مئوية أن يقلل من الإجهاد الداخلي، ويحسن كثافة التجميع، ويزيد من صلابة طبقة الغشاء: تسخين الركيزة إلى 120 ~ 150 درجة مئوية المحضرة ZrO3-SiO2، غشاء متعدد الطبقات، زادت قوته الميكانيكية بشكل كبير، ولكن درجة حرارة الركيزة المرتفعة جدًا ستؤدي إلى تدهور طبقة الغشاء.

(٤) القصف الأيوني. يؤثر القصف الأيوني على تكوين أسطح شديدة التماسك، وخشونة السطح، والأكسدة، وكثافة التكتل. يُنظف القصف قبل الطلاء السطح ويزيد من الالتصاق؛ بينما يُحسّن القصف بعد الطلاء كثافة تكتل طبقة الفيلم، وما إلى ذلك، مما يزيد من القوة الميكانيكية والصلابة.

(5) تنظيف الركيزة. إذا كانت طريقة تنظيف الركيزة غير مناسبة أو غير نظيفة، فإن الشوائب المتبقية أو مواد التنظيف الموجودة في الركيزة ستسبب تلوثًا جديدًا، مما يؤدي إلى اختلاف ظروف التماسك والالتصاق في الطلاء، مما يؤثر على الخصائص الهيكلية والسمك البصري للطبقة الأولى، كما يجعل طبقة الفيلم سهلة الانفصال عن الركيزة، مما يؤدي إلى تغيير خصائص طبقة الفيلم.

-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا