١. تتميز تقنية الترسيب بمساعدة حزمة الأيونات بقوة التصاق عالية بين الغشاء والركيزة، حيث تكون طبقة الغشاء قوية جدًا. أظهرت التجارب أن قوة التصاق الترسيب بمساعدة حزمة الأيونات تضاعفت عدة مرات مقارنةً بالترسيب البخاري الحراري، ويرجع ذلك أساسًا إلى تأثير التنظيف الذي يحدثه القصف الأيوني على السطح، مما يُشكل واجهة قاعدة الغشاء، أو طبقة انتقالية هجينة، ويقلل من إجهاد الغشاء.
٢. يُمكن للترسيب بمساعدة حزمة الأيونات تحسين الخواص الميكانيكية للفيلم، وإطالة عمر التعب، وهو مناسب جدًا لتحضير الأكاسيد، والكربيدات، وBN المكعب، وTiB2، والطلاءات الشبيهة بالماس. على سبيل المثال، في الفولاذ المقاوم للحرارة 1Cr18Ni9Ti، باستخدام تقنية الترسيب بمساعدة حزمة الأيونات لتنمية فيلم Si3N4 بسمك 200 نانومتر، لا يقتصر دوره على منع ظهور شقوق التعب على سطح المادة فحسب، بل يُقلل أيضًا بشكل كبير من معدل انتشار شقوق التعب، مما يُؤدي إلى إطالة عمر المادة بشكل كبير.
٣. يُمكن للترسيب بمساعدة حزمة الأيونات أن يُغيّر طبيعة إجهاد الغشاء، ويُغيّر بنيته البلورية. على سبيل المثال، عند تحضير غشاء الكروم بقصف ١١.٥ كيلو فولت من الزينون أو الأرجون على سطح الركيزة، وُجد أن تعديل درجة حرارة الركيزة، وطاقة أيونات القصف، والأيونات والذرات للوصول إلى نسبة المعلمات، يُمكن أن يُحوّل الإجهاد من إجهاد الشد إلى إجهاد الانضغاط، كما يُحدث تغييرات في البنية البلورية للغشاء. عند نسبة وصول معينة بين الأيونات والذرات، يكون للترسيب بمساعدة حزمة الأيونات توجه انتقائي أفضل من طبقة الغشاء المُرسبة بالترسيب البخاري الحراري.
٤. الترسيب بمساعدة حزمة الأيونات يُعزز مقاومة الغشاء للتآكل والأكسدة. بفضل كثافة الترسيب بمساعدة حزمة الأيونات لطبقة الغشاء، يُحسّن هيكل واجهة قاعدة الغشاء أو يُشكّل حالة غير متبلورة نتيجةً لاختفاء حدود الحبيبات بين الجسيمات، مما يُعزز مقاومة المادة للتآكل ويقاوم أكسدة درجات الحرارة العالية.
5. يمكن أن يؤدي ترسيب حزمة الأيونات إلى تغيير الخصائص الكهرومغناطيسية للفيلم وتحسين أداء الأغشية الرقيقة البصرية.
6. يسمح الترسيب بمساعدة الأيونات بالتعديل الدقيق والمستقل للمعلمات المتعلقة بالترسيب الذري وزرع الأيونات، ويسمح بالتوليد المتتالي للطلاءات التي يبلغ سمكها بضعة ميكرومترات ذات تركيبة متسقة عند طاقات قصف منخفضة، بحيث يمكن زراعة أفلام رقيقة مختلفة في درجة حرارة الغرفة، وتجنب التأثيرات الضارة على المواد أو الأجزاء الدقيقة التي قد تحدث بسبب معالجتها في درجات حرارة مرتفعة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٤ يناير ٢٠٢٤