تتميز تقنية طلاء CVD بالخصائص التالية:
1. عملية تشغيل معدات CVD بسيطة ومرنة نسبيًا، ويمكنها تحضير أفلام مفردة أو مركبة وأفلام سبائك بنسب مختلفة؛
2. طلاء CVD له مجموعة واسعة من التطبيقات، ويمكن استخدامه لإعداد طلاءات معدنية أو أغشية معدنية مختلفة؛
3. كفاءة إنتاج عالية بسبب معدلات الترسيب التي تتراوح من بضعة ميكرونات إلى مئات الميكرونات في الدقيقة؛
٤. مقارنةً بطريقة الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، تتميز تقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) بأداء حيود أفضل، وهي مناسبة جدًا لطلاء الركائز ذات الأشكال المعقدة، مثل الأخاديد والثقوب المطلية، وحتى هياكل الثقوب العمياء. يمكن طلاء الطلاء على شكل غشاء ذي كثافة عالية. بفضل درجة الحرارة العالية أثناء عملية تشكيل الغشاء، والالتصاق القوي بسطح الغشاء، تكون طبقة الغشاء متينة للغاية.
5. الضرر الناجم عن الإشعاع منخفض نسبيًا ويمكن دمجه مع عمليات الدائرة المتكاملة MOS.
——تم نشر هذه المقالة بواسطة Guangdong Zhenhua، وهي شركةمُصنِّع آلات طلاء الفراغ
وقت النشر: ٢٩ مارس ٢٠٢٣