የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች ምደባዎች ምንድ ናቸው?

የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂ በኤሌክትሮኒክስ ፣ ኦፕቲክስ ፣ ማሸግ ፣ ማስጌጥ እና ሌሎች መስኮች በሰፊው ጥቅም ላይ በሚውለው በቫኩም አከባቢ ውስጥ ስስ የፊልም ቁሳቁሶችን በንዑስ ክፍል ቁሳቁሶች ላይ የሚያስቀምጥ ቴክኖሎጂ ነው። የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በዋናነት በሚከተሉት ዓይነቶች ሊከፋፈሉ ይችላሉ.

1. የፍል ትነት ልባስ መሣሪያዎች: ይህ በጣም ባህላዊ ቫክዩም ሽፋን ዘዴ ነው, በትነት ጀልባ ውስጥ ያለውን ቀጭን ፊልም ቁሳዊ በማሞቅ, ቁሳዊ ተነነ እና substrate ቁሳዊ ወለል ላይ ተቀማጭ ነው.
2. የሚረጩ ማቀፊያ መሳሪያዎች፡ ከፍተኛ ሃይል ያላቸው ionዎችን በመጠቀም የታለመውን ቁሳቁስ ወለል ለመምታት የታለመው የቁስ አተሞች ተረጭተው ወደ ቁስ አካል ይቀመጣሉ። Magnetron sputtering ለጅምላ ምርት ተስማሚ የሆነውን ፊልም የበለጠ ወጥ እና ጠንካራ ማጣበቅን ማግኘት ይችላል።
3.Ion beam deposition equipment: Ion beams ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶችን በንጣፉ ላይ ለማስቀመጥ ያገለግላሉ. ይህ ዘዴ በጣም ተመሳሳይ የሆኑ ፊልሞችን ሊያገኝ ይችላል እና ከፍተኛ ትክክለኛነት ላላቸው ሁኔታዎች ተስማሚ ነው, ነገር ግን የመሳሪያው ዋጋ ከፍተኛ ነው.
4. የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) እቃዎች፡- በኬሚካላዊ ምላሽ አማካኝነት በንዑስ ፕላስቲቱ ላይ ቀጭን ፊልሞችን ይፈጥራል. ይህ ዘዴ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ባለብዙ ዓይነት ፊልሞችን ማዘጋጀት ይችላል, ነገር ግን መሳሪያው ውስብስብ እና ውድ ነው.
5. ሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ (MBE) መሳሪያዎች፡- ይህ በአቶሚክ ደረጃ ላይ ያሉ ስስ ፊልሞችን እድገትን ለመቆጣጠር የሚረዳ ዘዴ ሲሆን በዋናነት ለሴሚኮንዳክተር እና ናኖቴክኖሎጂ አፕሊኬሽኖች እጅግ በጣም ቀጭን ንብርቦችን እና ባለብዙ ሽፋን መዋቅሮችን ለማዘጋጀት ያገለግላል።
6. የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት (PECVD) መሳሪያዎች፡- ይህ ቴክኒክ ፕላዝማን በመጠቀም ቀጫጭን ፊልሞችን በኬሚካላዊ ምላሽ በማስቀመጥ በዝቅተኛ የሙቀት መጠን ስስ ፊልሞች በፍጥነት እንዲፈጠሩ ያስችላል።
7. Pulsed Laser Deposition (PLD) መሳርያዎች፡- እነዚህ መሳሪያዎች ኢላማን ለመምታት ከፍተኛ ሃይል ያለው ሌዘር ፐልሴስ ይጠቀማሉ ከታለመው ወለል ላይ ያለውን ቁሳቁስ በትነን ወደ ንኡስ ክፍል ያስቀምጣሉ እና ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ውስብስብ ኦክሳይድ ፊልሞችን ለማምረት ተስማሚ ናቸው.
እያንዳንዳቸው እነዚህ መሳሪያዎች በንድፍ እና አሠራር ውስጥ የራሳቸው ባህሪያት አላቸው እና ለተለያዩ የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች እና የምርምር ቦታዎች ተስማሚ ናቸው. በቴክኖሎጂ እድገት ፣ የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂም እያደገ ነው ፣ እና አዲስ የቫኩም መሸፈኛ መሳሪያዎች እንዲሁ ብቅ አሉ።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽንአምራች Guangdong Zhenhua