የፊልም ንብርብርን ሜካኒካል ጥንካሬ ለማሻሻል የሂደት መንገዶች

የ ገለፈት ንብርብር ያለውን ሜካኒካዊ ንብረቶች ታደራለች, ውጥረት, ድምር ጥግግት, ወዘተ ተጽዕኖ ናቸው ገለፈት ንብርብር ቁሳዊ እና ሂደት ሁኔታዎች መካከል ያለውን ግንኙነት ጀምሮ, እኛ ገለፈት ንብርብር ሜካኒካዊ ጥንካሬ ለማሻሻል ከፈለግን, እኛ የሚከተሉትን ሂደት መለኪያዎች ላይ ማተኮር እንዳለብን ማየት ይቻላል.

(1) የቫኩም ደረጃ. በፊልሙ አፈፃፀም ላይ ቫክዩም በጣም ግልፅ ነው። የፊልም ንብርብር አብዛኛዎቹ የአፈፃፀም አመልካቾች በቫኩም ደረጃ ላይ በጣም ጥገኛ ናቸው. ብዙውን ጊዜ, የቫኩም ዲግሪ ሲጨምር, የፊልም ውህደት መጠኑ ይጨምራል, ጥንካሬው ይጨምራል, የፊልም መዋቅር ይሻሻላል, የኬሚካላዊ ቅንጅቱ ንጹህ ይሆናል, ግን በተመሳሳይ ጊዜ ጭንቀቱ ይጨምራል.

(2) የማስቀመጫ መጠን። የማስቀመጫ መጠን አሻሽል ብቻ ሳይሆን በትነት መጠን ለማሻሻል ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል, ማለትም, ትነት ምንጭ የሙቀት አቀራረብ መጨመር, ደግሞ ለማሳካት ያለውን ትነት ምንጭ አካባቢ አቀራረብ ለመጨመር ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል, ነገር ግን አቀራረብ የሙቀት መጠን ለመጨመር ያለውን ትነት ምንጭ አጠቃቀም የራሱ ችግሮች አሉት: ገለፈት ንብርብር ውጥረት በጣም ትልቅ ነው ማድረግ; ፊልም የሚሠራ ጋዝ በቀላሉ ለመበስበስ ቀላል ነው. ስለዚህ አንዳንድ ጊዜ የትነት ምንጭ አካባቢን ይጨምሩ የትነት ምንጭ የሙቀት መጠን የበለጠ ምቹ ነው።

(3) substrate ሙቀት. የ substrate ሙቀት ለማግለል የቀሩት ጋዝ ሞለኪውሎች substrate ወለል ላይ adsorption ወደ substrate እና የተቀማጭ ሞለኪውሎች መካከል ያለውን አስገዳጅ ኃይል መጨመር: በተመሳሳይ ጊዜ የኬሚካል adsorption ወደ አካላዊ adsorption ልወጣ ለማስተዋወቅ ይሆናል, ሞለኪውሎች መካከል ያለውን መስተጋብር ለማሳደግ, ስለዚህም ገለፈት ንብርብር መዋቅር ጥብቅ ነው. ለምሳሌ, Mg, membrane, substrate ማሞቂያ ወደ 250 ~ 300 ℃ ውስጣዊ ጭንቀትን ይቀንሳል, የስብስብ ጥንካሬን ያሻሽላል, የሜዲካል ሽፋን ጥንካሬን ይጨምራል: substrate ማሞቂያ እስከ 120 ~ 150 ℃ የተዘጋጀ Zr03-Si02, ባለብዙ ሽፋን ሽፋን, ሜካኒካል ጥንካሬው ብዙ ጨምሯል, ነገር ግን የሙቀት መጠኑ በጣም ከፍተኛ ይሆናል.

(4) ion ቦምብ. Ion bombardment በጣም የተጣመሩ ንጣፎችን, የወለል ንጣፎችን, የኦክሳይድ እና የመደመር ጥንካሬን በመፍጠር ላይ ተጽእኖ አለው. ከመሸፈኑ በፊት ያለው የቦምብ ድብደባ ንጣፉን ማጽዳት እና ማጣበቂያውን ሊጨምር ይችላል; ከሽፋን በኋላ የሚፈጠረው የቦምብ ድብደባ የፊልም ንብርብሩን የመጨመሪያ ጥንካሬን ወዘተ ያሻሽላል, በዚህም የሜካኒካዊ ጥንካሬ እና ጥንካሬን ይጨምራል.

(5) የንጥረ ነገሮች ማጽዳት. Substrate የጽዳት ዘዴ ተገቢ አይደለም ወይም ንጹህ አይደለም, የ substrate ቀሪ ከቆሻሻው ወይም የጽዳት ወኪል ውስጥ, ከዚያም አዲስ ብክለት ሊያስከትል, የተለያዩ መጠጋጋት ሁኔታዎች እና ታደራለች ያለውን ሽፋን ውስጥ, መዋቅራዊ ንብረቶች እና የጨረር ውፍረት የመጀመሪያ ንብርብር ላይ ተጽዕኖ, ነገር ግን ደግሞ ፊልም ንብርብር ስለዚህ ፊልም ንብርብር ባህሪያት መለወጥ ቀላል ነው, substrate ከ ማጥፋት መምጣት ቀላል ነው ማድረግ.

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ