1. Ion beam የታገዘ የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ በገለባው እና በንጥረቱ መካከል ባለው ጠንካራ ተጣብቆ ተለይቶ ይታወቃል ፣ የሽፋኑ ንብርብር በጣም ጠንካራ ነው። ሙከራዎች እንደሚያሳዩት: ion ጨረር-የታገዘ የሙቅ ትነት ክምችት ታደራለች ይልቅ ታደራለች ቦታ በመቶዎች የሚቆጠሩ ጨምሯል, ምክንያት በዋናነት የጽዳት ውጤት ላይ ላዩን ላይ አዮን bombardment ምክንያት ነው, ስለዚህም ገለፈት ቤዝ በይነገጽ አንድ ቅልመት interfacial መዋቅር, ወይም ዲቃላ የሽግግር ንብርብር, እንዲሁም ገለፈት ውጥረት ለመቀነስ.
2. Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የፊልም ሜካኒካል ባህሪያትን ያሻሽላል, የድካም ህይወትን ያራዝማል, ለኦክሳይድ, ካርቦይድ, ኪዩቢክ ቢኤን, ቲቢ 2 እና አልማዝ መሰል ሽፋኖችን ለማዘጋጀት በጣም ተስማሚ ነው. ለምሳሌ ያህል, 1Cr18Ni9Ti ሙቀት-የሚቋቋም ብረት ውስጥ 200nm Si3N4 ፊልም እንዲያድጉ አዮን-ጨረር-የታገዘ የተቀማጭ ቴክኖሎጂ አጠቃቀም ላይ, ብቻ ሳይሆን ቁሳዊ ላይ ላዩን ድካም ስንጥቅ ብቅ ሊገታ ይችላል, ነገር ግን ደግሞ ጉልህ ድካም ስንጥቅ ስርጭት መጠን ይቀንሳል, ሕይወቱን ለማራዘም ጥሩ ሚና አለው.
3. Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የፊልሙን የጭንቀት ተፈጥሮ ሊለውጥ እና ክሪስታል አወቃቀሩን ሊለውጥ ይችላል። ለምሳሌ ያህል, 11.5keV Xe + ወይም Ar + substrate ወለል ላይ ቦምብ ጋር Cr ፊልም ዝግጅት, ወደ substrate ሙቀት ማስተካከያ, የቦምብ አዮን ኃይል, አየኖች እና አተሞች መለኪያዎች መካከል ያለውን ሬሾ ለመድረስ, ከመሸከም ውጥረት ወደ compressive ውጥረት ውጥረት ማድረግ እንደሚችል አገኘ, የፊልሙ ክሪስታላይን መዋቅር ለውጦችን ያመጣል. በተወሰነ የ ion-to-atom መድረሻ ጥምርታ ስር፣ የ ion beam አጋዥ አቀማመጥ በሙቀት ትነት ክምችት ከተቀመጠው የገለባ ንብርብር የተሻለ የመራጭ አቅጣጫ አለው።
4.Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የሽፋኑን ዝገት መቋቋም እና ኦክሳይድ መቋቋምን ሊያሻሽል ይችላል። ምክንያት ion ጨረር-የታገዘ የፊልም ንብርብር ጥግግት, የፊልም መሠረት በይነገጽ መዋቅር ማሻሻያ ወይም ቅንጣቶች መካከል ያለውን የእህል ድንበሮች መጥፋት ምክንያት amorphous ሁኔታ ምስረታ, ይህም ቁሳዊ ያለውን ዝገት የመቋቋም ለማሻሻል እና ከፍተኛ ሙቀት ያለውን oxidation የመቋቋም ነው.
5. Ion beam የታገዘ ማስቀመጫ የፊልሙን ኤሌክትሮማግኔቲክ ባህሪያት ሊለውጥ እና የኦፕቲካል ስስ ፊልሞችን አፈፃፀም ሊያሻሽል ይችላል.
6. በአዮን የታገዘ ማስቀመጫ ከአቶሚክ ክምችት እና ion ተከላ ጋር የተያያዙ መለኪያዎችን በትክክል እና በገለልተኛ ደረጃ ማስተካከል ያስችላል እና ጥቂት የማይክሮሜትሮች ሽፋን ተከታታይነት ያለው ቅንብር በዝቅተኛ የቦምብ ሃይል እንዲፈጠር ያስችላል።
- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ
የልጥፍ ጊዜ: ጥር-24-2024