Sputtering jẹ iṣẹlẹ kan ninu eyiti awọn patikulu ti o ni agbara (nigbagbogbo awọn ions ti awọn gaasi ti o daadaa) kọlu dada ti ohun ti o lagbara (ni isalẹ ti a pe ni ohun elo ibi-afẹde), nfa awọn ọta (tabi awọn moleku) lori dada ohun elo ibi-afẹde lati sa kuro ninu rẹ.
Iṣẹlẹ yii ni a ṣe awari nipasẹ Grove ni ọdun 1842 nigbati ohun elo cathode ti lọ si ogiri ti tube igbale lakoko idanwo lati ṣe iwadi ipata cathodic. Ọna sputtering yii ni ifisilẹ sobusitireti ti awọn fiimu tinrin ni a ṣe awari ni ọdun 1877, nitori lilo ọna yii ti awọn fiimu tinrin ni awọn ipele ibẹrẹ ti oṣuwọn sputtering jẹ kekere, iyara fiimu ti o lọra, o gbọdọ ṣeto sinu ẹrọ ti titẹ-giga ati kọja sinu gaasi ti o ni ipa ati awọn iṣoro lẹsẹsẹ miiran, nitorinaa idagbasoke jẹ o lọra pupọ ati pe o fẹrẹ parẹ, irin ti o ṣe iyebiye, refractive irin kemikali nikan dielectrics, ati awọn agbo ogun kemikali, awọn ohun elo lori nọmba kekere ti awọn ohun elo. Titi di awọn ọdun 1970, nitori ifarahan ti imọ-ẹrọ sputtering magnetron, a ti ni idagbasoke ti a bo sputtering ni kiakia, bẹrẹ lati tẹ isoji ti ọna naa. Eyi jẹ nitori ọna sputtering magnetron le ni ihamọ nipasẹ aaye itanna eleto orthogonal lori awọn elekitironi, jijẹ iṣeeṣe ti ijamba ti awọn elekitironi ati awọn ohun elo gaasi, kii ṣe dinku foliteji ti a ṣafikun si cathode nikan, ati ilọsiwaju oṣuwọn sputtering ti awọn ions rere lori cathode ibi-afẹde, idinku iṣeeṣe ti bombardment ti awọn elekitironi kekere nibẹ lori iwọn otutu ti o pọ si, iwọn otutu ti o pọ si ti iwọn otutu meji, awọn elekitironi kekere kan. Awọn abuda akọkọ ti “iyara giga ati iwọn otutu kekere”.
Si awọn 1980, biotilejepe o han nikan kan mejila ọdun, o duro jade lati yàrá, gan sinu awọn aaye ti isejade ibi-gbóògì. Pẹlu ilọsiwaju siwaju ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ, ni awọn ọdun aipẹ ni aaye ti ibora sputtering ati ifihan ti ion tan ina ti mu dara si sputtering, awọn lilo ti kan jakejado tan ina ti o lagbara ti isiyi orisun ni idapo pelu se aaye awose, ati pẹlu awọn apapo ti mora dipole sputtering kq ti a titun sputtering mode; yoo si jẹ ifihan ti agbedemeji-igbohunsafẹfẹ alternating lọwọlọwọ ipese agbara si magnetron sputtering ibi-afẹde. Yi alabọde-igbohunsafẹfẹ AC magnetron sputtering ọna ẹrọ, ti a npe ni ibeji afojusun sputtering, ko nikan ti jade ni "ipalara" ipa ti awọn anode, sugbon tun solves ni "majele" isoro ti awọn cathode, eyi ti gidigidi mu awọn iduroṣinṣin ti magnetron sputtering, ati ki o pese a ri to ipile fun isejade ti ile ise ti yellow tinrin fiimu. Eyi ti ni ilọsiwaju pupọ iduroṣinṣin ti sputtering magnetron ati pese ipilẹ to lagbara fun iṣelọpọ iṣelọpọ ti awọn fiimu tinrin agbo. Ni awọn ọdun aipẹ, wiwa sputtering ti di imọ-ẹrọ igbaradi fiimu ti o gbona, ti nṣiṣe lọwọ ni aaye ti imọ-ẹrọ ibora igbale.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-05-2023