Nínú magnetronìtúpalẹ̀ àti ìtúpalẹ̀ plasmaÀwọn ilana, iru ipese agbara naa ṣe ipa pataki ninu ṣiṣe ipinnu iduroṣinṣin pilasima, ṣiṣe sputtering, iwuwo fiimu, ati atunṣe ilana.
Àwọn irú ìpèsè agbára tí a ń lò jùlọ ni àwọn ìpèsè agbára Radio Frequency (RF) àti àwọn ìpèsè agbára Medium Frequency (MF), èyí tí ó yàtọ̀ síra ní ti ìṣiṣẹ́ ìgbàkúgbà, ẹ̀rọ ìtújáde, ìbáramu àfojúsùn, àti iṣẹ́ iṣẹ́.
Yíyan ipese agbara to yẹ ṣe pataki fun didara awọ, iṣelọpọ agbara, ati iduroṣinṣin eto.
Àwọn ohun èlò agbára RF sábà máa ń ṣiṣẹ́ ní 13.56 MHz, a sì máa ń lò wọ́n ní pàtàkì fún fífún àwọn ibi ìdènà ìdènà bíi SiO₂, Al₂O₃, àti TiO₂ ní ìpele ...
Àwọn Ẹ̀yà Ìmọ̀-ẹ̀rọ:
Ṣetọju itusilẹ pilasima iduroṣinṣin nipasẹ aaye ina miiran
Ó ń dènà ìkójọpọ̀ agbára lórí àwọn ojú ibi tí a fẹ́ kó pamọ́ sí
Ó yẹ fún gbígbé àwọn fíìmù dielectric, àwọn ìbòrí opitika, àti àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ oxide iṣẹ́-ṣíṣe sílẹ̀
Pese iṣọkan pilasima ti o dara julọ fun awọn ohun elo fiimu ti o ga julọ
Àwọn àǹfààní:
Ni ibamu pẹlu awọn ibi-afẹde ti kii ṣe adarí
Iyọkuro iduroṣinṣin ati fifọ aṣọ deede
Iṣakoso akopọ giga ati iṣẹ opitika ti o ga julọ
Awọn idiwọn:
Iye owo eto ti o ga julọ
Agbara iwuwo kekere ati oṣuwọn idogo to lopin
Awọn ibeere ibaamu impedance ti o nira
Àwọn ìpèsè agbára Frequency Agbedeméjì (MF) sábà máa ń ṣiṣẹ́ ní ìwọ̀n 10–200 kHz, a sì máa ń lò wọ́n dáadáa nínú àwọn ètò dual-magnetron àti àwọn ìlànà sputtering reactive, pàápàá jùlọ fún àwọn ìbòrí irin àti irin-oxide.
Àwọn Ẹ̀yà Ìmọ̀-ẹ̀rọ:
Ó ń lo ìtújáde bipolar alternating, èyí tó máa dín ìkójọpọ̀ agbára lórí àwọn ibi tí a fẹ́ fojú sí kù.
Ó dín ìfàsẹ́yìn kù dáadáa, ó sì mú kí ìdúróṣinṣin ilana pọ̀ sí i.
Ṣe atilẹyin iwuwo agbara giga, ṣiṣe awọn oṣuwọn idogo giga
O dara fun ibora agbegbe nla ati iṣelọpọ ibi-iṣẹ ile-iṣẹ
Àwọn àǹfààní:
Oṣuwọn idogo giga ati agbara ti o ga julọ
Apẹrẹ fun awọn ibi-afẹde conductive ati sputtering idahun
Imuduro arc ti o pọ si ati igbẹkẹle iṣiṣẹ
Iye owo to munadoko pẹlu itọju ti o rọrun
Awọn idiwọn:
Ko dara fun awọn ibi-afẹde aabo pupọ
Iṣọkan Plasma le nilo iṣapeye nipasẹ aaye oofa ati apẹrẹ sisan gaasi
| Ohun afiwe | Ipese Agbara RF | Ipese Agbara MF |
|---|---|---|
| Igbohunsafẹfẹ iṣiṣẹ | 13.56 MHz | 10–200 kHz |
| Ibamu Afojusun | Àwọn Àfojúsùn Ìdènà/Oksidi | Àwọn ibi tí a fẹ́ fojú sí tí ó jẹ́ ti irin/ìṣepadà |
| Oṣuwọn Ifisilẹ | Alabọde si Kekere | Gíga |
| Ìfàmọ́ra Arc | Díẹ̀díẹ̀ | O tayọ |
| Iduroṣinṣin Plasma | Gíga | Gíga |
| Iye owo Eto naa | Gíga Jù | Isalẹ |
| Awọn Ohun elo Aṣoju | Àwọn Fíìmù Ojú àti Iṣẹ́-ṣíṣe | Àwọn Àwọ̀ Ilé-iṣẹ́ àti Ohun Ọ̀ṣọ́ |
Fún àwọn ohun èlò ìdábòbò gíga (fíìmù opitika àti dielectric), àwọn ohun èlò agbára RF jẹ́ ojútùú tí a fẹ́ràn jùlọ
Fún àwọn ìbòrí irin, ìforúkọsílẹ̀ agbègbè ńlá, àti ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ (TiN, ITO, CrOx), àwọn ìpèsè agbára MF ń pese iṣẹ́-ṣíṣe tó ga jùlọ àti ìnáwó tó gbéṣẹ́
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ilé-iṣẹ́ gíga, àwọn ohun èlò agbára MF ń mú ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́ tó dára jù wá
Fún àwọn ìbòrí iṣẹ́-ṣíṣe tó ga jùlọ àti tí kò ní ìpele, àwọn ohun èlò agbára RF ń pèsè ìṣọ̀kan àti ìṣàkóso àkópọ̀ tó dára síi.
Awọn ipese agbara RF ati MF kọọkan nfunni ni awọn anfani oriṣiriṣi ninu awọn ohun elo ibora igbale, pẹlu ibamu wọn ti a pinnu nipasẹ awọn ohun-ini ohun elo ti a fojusi, iru ibora, agbara iṣelọpọ, ati awọn ero idiyele.
Bí ìbòrí ilé-iṣẹ́ ṣe ń tẹ̀síwájú láti yípadà, àwọn ìpèsè agbára MF ń di àṣàyàn pàtàkì fún ìṣẹ̀dá agbára gíga àti ìdúróṣinṣin gíga, nígbàtí àwọn ìpèsè agbára RF ṣì ṣe pàtàkì fún ìfipamọ́ fíìmù optical-template àti dielectric.
Ní wíwo ọjọ́ iwájú, a retí pé àwọn ọ̀nà ìgbékalẹ̀ agbára aládàpọ̀ àti àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ ìṣàkóso agbára ọlọ́gbọ́n yóò mú kí ìdúróṣinṣin ilana àti iṣẹ́ ìbòrí pọ̀ sí i.
-Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde láti ọwọ́ẹrọ ti a fi bo igbale olupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-27-2026