વેક્યુમ કોટિંગમાં ઉચ્ચ-આવર્તન અને મધ્યમ-આવર્તન પાવર સપ્લાય વચ્ચેનો તફાવત

મેગ્નેટ્રોનમાંસ્પુટરિંગ અને પ્લાઝ્મા ડિપોઝિશનપ્રક્રિયાઓમાં, પાવર સપ્લાય પ્રકાર પ્લાઝ્મા સ્થિરતા, સ્પટરિંગ કાર્યક્ષમતા, ફિલ્મ ઘનતા અને પ્રક્રિયા પુનરાવર્તિતતા નક્કી કરવામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.

સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતા પાવર સપ્લાય પ્રકારો રેડિયો ફ્રીક્વન્સી (RF) પાવર સપ્લાય અને મીડિયમ ફ્રીક્વન્સી (MF) પાવર સપ્લાય છે, જે ઓપરેટિંગ ફ્રીક્વન્સી, ડિસ્ચાર્જ મિકેનિઝમ, લક્ષ્ય સુસંગતતા અને પ્રક્રિયા કામગીરીના સંદર્ભમાં નોંધપાત્ર રીતે અલગ પડે છે.

કોટિંગ ગુણવત્તા, ઉત્પાદન થ્રુપુટ અને સિસ્ટમ સ્થિરતાને શ્રેષ્ઠ બનાવવા માટે યોગ્ય પાવર સપ્લાય પસંદ કરવો જરૂરી છે.

RF પાવર સપ્લાય સામાન્ય રીતે 13.56 MHz પર કાર્ય કરે છે અને મુખ્યત્વે SiO₂, Al₂O₃ અને TiO₂ જેવા ઇન્સ્યુલેટીંગ લક્ષ્યોને સ્પટર કરવા માટે વપરાય છે.

ટેકનિકલ સુવિધાઓ:

વૈકલ્પિક ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્ર દ્વારા સ્થિર પ્લાઝ્મા ડિસ્ચાર્જ જાળવી રાખે છે

ઇન્સ્યુલેટીંગ લક્ષ્ય સપાટીઓ પર ચાર્જ સંચય અટકાવે છે

ડાઇલેક્ટ્રિક ફિલ્મો, ઓપ્ટિકલ કોટિંગ્સ અને કાર્યાત્મક ઓક્સાઇડ સ્તરો જમા કરવા માટે યોગ્ય.

ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ફિલ્મ એપ્લિકેશનો માટે ઉત્તમ પ્લાઝ્મા એકરૂપતા પ્રદાન કરે છે

ફાયદા:

બિન-વાહક લક્ષ્યો સાથે સુસંગત

સ્થિર સ્રાવ અને એકસમાન સ્પુટરિંગ

ઉચ્ચ રચનાત્મક નિયંત્રણ અને શ્રેષ્ઠ ઓપ્ટિકલ કામગીરી

મર્યાદાઓ:

સિસ્ટમનો ખર્ચ વધારે

ઓછી પાવર ઘનતા અને મર્યાદિત ડિપોઝિશન રેટ

જટિલ અવબાધ મેચિંગ આવશ્યકતાઓ

મધ્યમ આવર્તન (MF) પાવર સપ્લાય સામાન્ય રીતે 10-200 kHz રેન્જમાં કાર્ય કરે છે અને તેનો ઉપયોગ ડ્યુઅલ-મેગ્નેટ્રોન સિસ્ટમ્સ અને રિએક્ટિવ સ્પટરિંગ પ્રક્રિયાઓમાં વ્યાપકપણે થાય છે, ખાસ કરીને મેટાલિક અને મેટલ-ઓક્સાઇડ કોટિંગ્સ માટે.

ટેકનિકલ સુવિધાઓ:

લક્ષ્ય સપાટી પર ચાર્જ સંચયને ઓછો કરીને, બાયપોલર વૈકલ્પિક ડિસ્ચાર્જનો ઉપયોગ કરે છે.

અસરકારક રીતે આર્સિંગ ઘટાડે છે, પ્રક્રિયા સ્થિરતામાં સુધારો કરે છે

ઉચ્ચ પાવર ઘનતાને સપોર્ટ કરે છે, ઉચ્ચ ડિપોઝિશન રેટને સક્ષમ કરે છે

મોટા વિસ્તારના કોટિંગ અને ઔદ્યોગિક મોટા પાયે ઉત્પાદન માટે યોગ્ય

ફાયદા:

ઉચ્ચ ડિપોઝિશન રેટ અને શ્રેષ્ઠ થ્રુપુટ

વાહક લક્ષ્યો અને પ્રતિક્રિયાશીલ સ્પુટરિંગ માટે આદર્શ

ઉન્નત ચાપ દમન અને કાર્યકારી વિશ્વસનીયતા

સરળ જાળવણી સાથે ખર્ચ-અસરકારક

મર્યાદાઓ:

ખૂબ જ ઇન્સ્યુલેટીંગ લક્ષ્યો માટે યોગ્ય નથી

પ્લાઝ્મા એકરૂપતાને ચુંબકીય ક્ષેત્ર અને ગેસ પ્રવાહ ડિઝાઇન દ્વારા ઑપ્ટિમાઇઝેશનની જરૂર પડી શકે છે.

ઉચ્ચ ઇન્સ્યુલેટીંગ સામગ્રી (ઓપ્ટિકલ અને ડાઇલેક્ટ્રિક ફિલ્મો) માટે, RF પાવર સપ્લાય પસંદગીનો ઉકેલ રહે છે.

મેટલ કોટિંગ્સ, મોટા-ક્ષેત્રના ડિપોઝિશન અને રિએક્ટિવ સ્પટરિંગ (TiN, ITO, CrOx) માટે, MF પાવર સપ્લાય શ્રેષ્ઠ થ્રુપુટ અને ખર્ચ કાર્યક્ષમતા પ્રદાન કરે છે.

મોટા પ્રમાણમાં ઔદ્યોગિક ઉત્પાદનમાં, MF પાવર સપ્લાય વધુ સારી લાંબા ગાળાની પ્રક્રિયા સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે

ઉચ્ચ-સ્તરીય ઓપ્ટિકલ અને ચોકસાઇવાળા કાર્યાત્મક કોટિંગ્સ માટે, RF પાવર સપ્લાય ઉન્નત એકરૂપતા અને રચનાત્મક નિયંત્રણ પ્રદાન કરે છે.

RF અને MF પાવર સપ્લાય દરેક વેક્યુમ કોટિંગ એપ્લિકેશન્સમાં વિશિષ્ટ ફાયદા પ્રદાન કરે છે, તેમની યોગ્યતા લક્ષ્ય સામગ્રી ગુણધર્મો, કોટિંગ પ્રકાર, ઉત્પાદન ક્ષમતા અને ખર્ચ વિચારણાઓ દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે.

જેમ જેમ ઔદ્યોગિક કોટિંગનો વિકાસ થતો રહે છે, તેમ તેમ ઉચ્ચ-કાર્યક્ષમતા, ઉચ્ચ-સુસંગતતાવાળા મોટા પાયે ઉત્પાદન માટે MF પાવર સપ્લાય મુખ્ય પ્રવાહની પસંદગી બની રહ્યો છે, જ્યારે RF પાવર સપ્લાય ઓપ્ટિકલ-ગ્રેડ અને ડાઇલેક્ટ્રિક ફિલ્મ ડિપોઝિશન માટે અનિવાર્ય રહે છે.

ભવિષ્યમાં, હાઇબ્રિડ પાવર આર્કિટેક્ચર અને બુદ્ધિશાળી પાવર કંટ્રોલ ટેકનોલોજી પ્રક્રિયા સ્થિરતા અને કોટિંગ કામગીરીમાં વધુ વધારો કરશે તેવી અપેક્ષા છે.

-આ લેખ પ્રકાશિત થયો હતોવેક્યુમ કોટિંગ સાધનો ઉત્પાદક ઝેન્હુઆ વેક્યુમ