Farqiga u dhexeeya Sahayda Korontada ee Soo noqnoqoshada Sare iyo Soo noqnoqoshada Dhexdhexaadka ah ee Dahaarka Faakuumka

Magnetron-kadheecaanka iyo dhigista plasma ee dhiiggahababka, nooca korontada ayaa door muhiim ah ka ciyaara go'aaminta xasilloonida balaasmaha, hufnaanta sputtering, cufnaanta filimka, iyo ku celcelinta habka.

Noocyada korontada ee ugu isticmaalka badan waa sahayda korontada ee Soo noqnoqoshada Raadiyaha (RF) iyo sahayda korontada ee Soo noqnoqoshada Dhexdhexaadka ah (MF), kuwaas oo si weyn ugu kala duwan marka la eego soo noqnoqoshada hawlgalka, habka sii deynta, iswaafajinta bartilmaameedka, iyo waxqabadka habka.

Xulashada korontada ku habboon waa lama huraan si loo wanaajiyo tayada dahaarka, wax soo saarka, iyo xasilloonida nidaamka.

Sahayda korontada RF waxay caadi ahaan ku shaqeeyaan 13.56 MHz waxaana ugu horreyn loo isticmaalaa in lagu buufiyo bartilmaameedyada dahaarka leh sida SiO₂, Al₂O₃, iyo TiO₂.

Tilmaamaha Farsamada:

Waxay ilaalisaa dheecaanka plasma-ga oo deggan iyada oo loo marayo garoon koronto oo beddelan

Waxay ka hortagtaa ururinta dallacaadda dusha sare ee dahaarka leh

Ku habboon dhigista filimada dielectric, dahaarka indhaha, iyo lakabyada oksaydhka shaqeynaya

Waxay bixisaa isku midnimo balaasma oo heer sare ah oo loogu talagalay codsiyada filimka saxda ah

Faa'iidooyinka:

La jaanqaadi kara bartilmaameedyada aan wadinayn

Daadin deggan iyo xoqid isku mid ah

Xakamaynta isku-dhafka sare iyo waxqabadka indhaha oo sarreeya

Xaddidaadaha:

Qiimaha sare ee nidaamka

Cufnaanta awoodda oo hooseysa iyo heerka dhigista xaddidan

Shuruudaha iswaafajinta is-waafajinta ee adag

Sahayda korontada ee Soo noqnoqoshada Dhexdhexaadka ah (MF) waxay caadi ahaan ku shaqeeyaan xadka 10-200 kHz waxaana si weyn loogu isticmaalaa nidaamyada laba-magnetron iyo hababka sputtering reactive, gaar ahaan dahaarka birta iyo birta-oksaydhka.

Tilmaamaha Farsamada:

Wuxuu adeegsadaa dheecaan laba-geesood ah oo beddela, isagoo yareynaya ururinta dallacaadda dusha sare ee bartilmaameedka

Si wax ku ool ah ayuu u yareeyaa qalooca, wuxuuna hagaajiyaa xasilloonida habka

Waxay taageertaa cufnaanta awoodda sare, taasoo suurtogalinaysa heerarka dhigaalka oo sarreeya

Si fiican ugu habboon dahaarka dhul ballaaran iyo wax soo saarka warshadaha

Faa'iidooyinka:

Heerka dhigaalka sare iyo wax soo saar wanaagsan

Ku habboon bartilmaameedyada gudbinta iyo sputtering falcelin leh

Xakamaynta qaansada oo la xoojiyay iyo isku halaynta hawlgalka

Kharash-ool ah oo leh dayactir la fududeeyay

Xaddidaadaha:

Kuma habboona bartilmaameedyada aadka u dahaaran

Midnimada Plasma waxay u baahan kartaa hagaajin iyada oo loo marayo naqshadeynta gaaska iyo goobta magnetic

Agabka aadka u dahaadha (filimada indhaha iyo kuwa dielectric), sahayda korontada RF ayaa ah xalka la doorbido.

Dahaarka birta, dhigista dhul ballaaran, iyo faafinta falcelinta (TiN, ITO, CrOx), sahayda korontada MF waxay bixisaa wax soo saar heer sare ah iyo hufnaan kharash.

Wax soo saarka warshadaha ee mugga sare leh, sahayda korontada ee MF waxay bixisaa xasillooni habayn oo muddo dheer ah oo wanaagsan

Dahaarka shaqada ee sare ee indhaha iyo saxnaanta, sahayda korontada RF waxay bixiyaan isku-midnimo la xoojiyay iyo xakamaynta isku-dhafka.

Sahayda korontada RF iyo MF mid walba wuxuu bixiyaa faa'iidooyin gaar ah oo ku saabsan codsiyada dahaarka faakuumka, iyadoo ku habboonaanshahooda lagu go'aamiyo sifooyinka walxaha la beegsanayo, nooca dahaarka, awoodda wax soo saarka, iyo tixgelinta kharashka.

Maadaama dahaarka warshaduhu uu sii socdo, sahayda korontada ee MF waxay noqonayaan doorashada ugu weyn ee wax soo saarka waxtarka sare leh, oo leh isku dheelitirnaan sare, halka sahayda korontada ee RF ay weli lama huraan u tahay dhigista filimka heerka-indhaha iyo dielectric.

Marka la eego mustaqbalka, qaab-dhismeedka awoodda isku-dhafan iyo teknoolojiyada xakamaynta awoodda caqliga leh ayaa la filayaa inay sii xoojiyaan xasilloonida habka iyo waxqabadka dahaarka.

-Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumka saaraha Zhenhua Vacuum